一种倒装键合设备中用于各向异性导电胶的热压装置制造方法及图纸

技术编号:9186960 阅读:158 留言:0更新日期:2013-09-20 06:09
本实用新型专利技术公开了一种热压装置,用于倒装键合设备中对导电胶进行热压,其特征在于,该热压装置包括:压头组件(2),用于对导向胶进行热压;导向组件(1),其设置在一支撑基座(4)上,所述压头组件(2)设置在该导向组件(1)上,所述压头组件(2)通过该导向组件(1)进行导向移动以完成热压;驱动组件(5),其设置在所述导向组件(1)一侧,用于驱动所述导向组件(1)直线移动,以实现其对压头组件(2)的导向移动。本实用新型专利技术的装置能够方便的实现热压工艺中的热压过程,并且具备压力稳定性和精度好,热压的精度高,结构紧凑等优点。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种热压装置,用于倒装键合设备中对导电胶进行热压,其特征在于,该热压装置包括:压头组件(2),用于对导向胶进行热压;导向组件(1),其设置在一支撑基座(4)上,所述压头组件(2)设置在该导向组件(1)上,所述压头组件(2)通过该导向组件(1)进行导向移动以完成热压;驱动组件(5),其设置在所述导向组件(1)一侧,用于驱动所述导向组件(1)直线移动,以实现其对压头组件(2)的导向移动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陶波朱钦淼程小明潘卫进薛天骋汤朋朋罗冲冯梦丹洪洋胡越周鹏张阳
申请(专利权)人:华中科技大学
类型:实用新型
国别省市:

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