【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种场效应晶体管气体传感器，包括至少两个场效应晶体管，所述至少两个场效应晶体管并列排布，串接排布，或者环状排布，并且以共源、共漏或共源且共漏中一种或者它们的组合连接，其中至少一个场效应晶体管的栅电极作为参考栅电极而不具有敏感膜，其余场效应晶体管的栅电极作为测试栅电极而具有敏感膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：梁圣法，李冬梅，刘明，谢常青，陈鑫，詹爽，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。