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场效应晶体管气体传感器及其制造方法技术
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文档序号:9169664
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本发明公开了一种新型场效应晶体管气体传感器,该传感器包括至少两个场效应晶体管,所述至少两个场效应晶体管并列排布,串接排布,或者环状排布,并且以共源、共漏或共源且共漏中一种或者它们的组合连接,其中至少一个场效应晶体管的栅电极作为参考栅电极而不...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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