【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
节能氮化炉,包括炉体,其特征在于:所述炉体底部中心位置通过旋转柱安装有阴极盘,所述炉体底部还设置有真空泵,所述炉体底部具有炉底隔热屏,所述炉体内设有保温屏,所述炉体外设有冷却罩,所述保温屏和冷却罩之间形成冷却空腔,位于炉体顶部的冷却空腔内设有冷却水喷管,所述冷却水喷管与储水箱连接,位于炉体底部两侧的冷却空腔内开有冷却水出口,两冷却水出口与循环水管连接,所述循环水管上端又与储水箱连接,所述炉体内壁顶部设有氨气输送结构。
【技术特征摘要】
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