【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种新型高密度阴极等离子体源，其特征在于：包括有屏蔽罩，屏蔽罩中设有屏蔽筒，屏蔽筒中设有LaB6阴极、加热元件，屏蔽罩的后端设有安装基座，安装基座为水冷热沉结构，安装基座通过数个支撑杆固定在安装法兰的内壁上，安装法兰安装进气连接件作为进气口，安装法兰自外向内贯穿一个电连接件，电连接件的周围与安装法兰之间超高真空密封，电连接件的一端与加热元件连接，安装法兰外还设有一水冷电极，水冷电极通过安装法兰内的水冷接头与加热元件连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李波，吴杰峰，罗广南，王海京，韦俊，宋春，
申请(专利权)人：合肥聚能电物理高技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：
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