一种带加热的膜带化学镀装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种带加热的膜带化学镀装置及其方法，该装置由在线加热器(3)、喷嘴（5）、混液槽（4）、化学镀平台（7）和热水供给槽（9）组成，热水供给槽（9）与混液槽（4）、化学镀平台（7）通过热水进出管连接，在线加热器(3)与喷嘴（5）通过管路连接，且位于混液槽（4）上方。该化学镀的方法是：两种不同的镀液分别通过在线加热器加热到接近化学镀温度，然后经过喷头在混液槽内喷洒混合，化学液再经过导流板流到化学镀平台上的膜带的上表面完成化学镀过程。本发明专利技术的装置和方法够避免化学镀液过早反应导致镀液消耗和产生沉淀等影响工艺效果，同时保证了镀液温度的均匀性，从而给保证了较大面积膜带表面化学镀工艺的均匀性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种带加热的膜带化学镀装置，其特征在于：该装置由在线加热器(3)、喷嘴（5）、混液槽（4）、化学镀平台（7）和热水供给槽（9）组成，热水供给槽（9）与混液槽（4）、化学镀平台（7）通过热水进出管连接，通过供水泵（11）将热水供给槽（9）中的热水打入到混液槽（4）和化学镀平台（7）中循环，在线加热器(3)与喷嘴（5）通过管路连接，且位于混液槽（4）上方，混液槽（4）位于化学镀平台（7）斜上方。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘永进，张伟锋，高津平，曹颖杰，刘鸿儒，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：