【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于使零件,尤其是半导体芯片重新定位的机械手,它具有一个电动的或者通过流体力可操纵的旋转驱动装置,该装置具有一个可驱动产生围绕一个旋转轴线的旋转运动的并在至少两个不同的旋转终端位置上可以定位的旋转输出件。
技术介绍
由EP 0 670 438 B1已知的这种型式的机械手具有一个通过流体力可操纵的旋转驱动装置,该旋转驱动装置有一个可以在不同的旋转终端位置之间定位的旋转输出件。在该旋转输出件上在一个悬臂上方设有一个吸入式抓取器,该抓取器在旋转输出件围绕其旋转轴线旋转运动时实施一种摆动运动。这样就可以使固定于吸入式抓取器上的零件在不同的位置之间重新定位。吸入式抓取器可能需要有升降运动,这可能由如下方法来实现使整个机械手,包括旋转驱动装置平行于旋转轴移动。通过已知的机械手,每个工作循环总是只能使一个零件,例如一个工件重新定位。因此单位时间内通过机械手可以重新定位的零件数量就相对较少。
技术实现思路
本技术的任务是提出一种机械手,用该机械手可以在单位时间内使更多数量的零件以精确的方式重新进行定位。按照本技术如下来解决该任务旋转输出件设有两个相对于旋转轴线在直径方向上 ...
【技术保护点】
用于使零件,尤其是半导体芯片重新定位的机械手,其具有一个电动的或通过流体力可操纵的旋转驱动装置(7),该装置具有一个可驱动而引起围绕旋转轴线(13)的旋转运动(12)的、并可以在至少两个不同的旋转终端位置上定位的旋转输出件(9),其特征在于,旋转输出件(9)有两个相对于旋转轴线(13)在直径方向上对置布置的抓取单元(22,23),这些抓取单元分别包括一个可以电动操纵的线性定位驱动装置(24a,24b),所述线性驱动装置有一个在平行于旋转轴线(13)的升降轴线(27a,27b)的方向上可变的线性可定位的升降输出件(26a,26b),其中在每个升降输出件(26a,26b)上可以 ...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:A纽格鲍尔,U海林,M弗罗恩德,W梅彻勒,
申请(专利权)人:费斯托合资公司,
类型:实用新型
国别省市:DE[德国]
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