传送机械手制造技术

一传送机械手有一可旋转地被一支承板所支承的基柱。一共用框架安装在基柱上。一左搬运装置由共用框架的第一横梁部、第一中间臂、第一末端臂、第一手等等所构成。左搬运装置是被这样控制的：用一共用电动机设定它的伸展和收缩，用共用电动机和第一电动机驱动它延伸和收缩。右搬运装置由共用框架的第二横梁部、第二中间臂、第二末端臂、第二手等等所构成。右搬运装置是这样被控制的，用共用电动机设定它的伸展和收缩，用共用电动机和第二电动机驱动它延伸和收缩。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种传送机械手，尤其涉及一种适用于半导体加工的双手型传送机械手，在该加工中，诸如半导体薄片或液晶显示(LCD)基片的目标物需要在真空环境中进行搬运。
技术介绍
采用一种传送机械手把诸如一半导体薄片或LCD基片的目标物送入或送到一加工设备中，诸如化学蒸着(chemical vapor deposition)(CVD)设备、扩散设备或抗涂覆设备。在保持高生产率的同时，需要这样一种传送机械手来精确传送。尤其是，为了压缩场地和保持一清洁的环境而更需要安装在真空环境中的诸如在一装料锁定腔内部的传送机械手。附图说明图1和2分别是一平面图和一局部剖视图，它们示出了一传统的用于传送半导体薄片的典型的双手型传送机械手。在此传送机械手中，第一和第二搬运装置116和118相对于中心线对称地设置在一支承板114上，该支承板114可绕一轴112旋转。搬运装置116和118都有一个由一近端臂122、一中间臂124和一末端臂126组合而成的彼此可枢转地连接的多臂结构。一手128设置在末端臂126的自由端，以便在其上安装一半导体薄片W。近端臂122通过一在支承板114下面向下延伸的空心轴132而被驱本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传送机械手，它包括：一穿过一支承板并可旋转地被该支承板所支承的基柱；一安装在基柱上的共用框架；分别通过传递驱动力的第一和第二中间轴结构可旋转地连接于所述共用框架的第一和第二中间臂；分别通过传递驱动力的第一和第二末端轴结构 可旋转地连接于第一和第二中间臂的自由端的第一和第二末端臂；传递驱动力、可旋转地被所述基柱所支承、通过所述基柱到达所述共用框架的第一和第二驱动轴；设置在所述共用框架中的第一和第二上游传递装置，用来分别在所述第一驱动轴与所述第一中间轴结 构之间以及所述第二驱动轴与所述第二中间轴结构之间传递驱动力；设置在所述第一和第二中间臂中的第一和...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：板垣泰仁，
申请(专利权)人：板垣泰仁，
类型：发明
国别省市：JP[日本]