蓝光响应增强的高效黑硅光伏器件制造技术

技术编号：9116943 阅读：212 留言：0更新日期：2013-09-05 06:14

具有改进的蓝光响应的光伏（PV）器件。PV器件在光接收侧上包含具有发射层的硅衬底。发射层所具有的掺杂物水平使得其薄层电阻为90～170欧姆/sq。仅仅通过光接收表面上的纳米结构或黑硅表面，在PV器件中提供抗反射，其中通过扩散形成发射极。以不会导致金或其它高复合金属留在黑硅中的方式，如使用银的金属辅助刻蚀，形成黑硅的纳米结构。进一步处理黑硅，扩大所述孔隙，这样可提供侧向尺寸为65～150纳米的更大的纳米结构，以减少表面面积并且还刻蚀掉发射极的高掺杂部分。