【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种蚀刻衬底以在衬底上形成一个或多个金属化特征的方法,包括步骤:在衬底上形成电介质层;在电介质层上形成底部抗蚀剂层,所述底部抗蚀剂层对第一选定范围内的能量敏感;在所述底部抗蚀剂层上形成顶部抗蚀剂层,所述顶部抗蚀剂层具有比所述底部抗蚀剂层大的厚度且对第二选定范围内的能量敏感;将顶部抗蚀剂层的选定部分暴露到第二选定范围的能量,并去除顶部抗蚀剂层中的暴露部分以暴露出一部分底部抗蚀剂层;去除底部抗蚀剂层的暴露部分以暴露出一部分电介质层;使用所述顶部抗蚀剂层和底部抗蚀剂层作为蚀刻掩模去除电介质层的暴露部分以暴露出一部分衬底;蚀刻衬底的暴露部分至所需深度;在所述蚀刻衬底的暴露部分之后,在所述底部抗蚀剂层中形成抗蚀剂底切;在衬底的暴露部分上和顶部抗蚀剂层上沉积金属;和去除所述顶部抗蚀剂层和底部抗蚀剂层,并剥离形成在所述顶部抗蚀剂层上的金属,以在衬底上形成一个或多个金属化特征。
【技术特征摘要】
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