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使蚀刻底切最小化及提供清洁金属剥离的方法技术
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下载使蚀刻底切最小化及提供清洁金属剥离的方法的技术资料
文档序号:9061437
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提供使蚀刻底切最小化并在随后的金属沉积中提供清洁金属剥离的方法。在一个实施例中,首先通过标准光刻技术和在第一显影剂中的抗蚀剂显影将对选定范围的能量敏感的顶部层抗蚀剂图形化,以暴露出部分的底部抗蚀剂层,其对不同的选定范围的能量敏感。然后,通过...
该专利属于WJ通信公司所有,仅供学习研究参考,未经过WJ通信公司授权不得商用。
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