用双金刚石涂层涂布微机械零件的方法技术

技术编号:9037209 阅读:165 留言:0更新日期:2013-08-15 03:55
涂布微机械系统中的微机械零件,尤其是手表机芯的方法,包括:提供待涂布的基体(4)零件;为所述零件提供掺杂有硼的第一金刚石涂层(2);为所述零件提供第二金刚石涂层(3);其中:所述第二金刚石涂层(3)在反应室中通过CVD提供;在CVD沉积过程中,在生长过程的最后阶段,在反应室内可控地增大碳含量,由此使sp2/sp3碳键(6)的增大到sp2含量大体上为1%至45%。另外还提供了相应的微机械零件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种涂布微机械系统的微机械零件,尤其是手表机芯,的方法,以便降低表面粗糙度、增强摩擦性能和减少工作表面上的灰尘积聚。本专利技术还涉及相应的微机械系统的微机械零件,尤其是手表机芯。本专利技术可用于微机械手表机芯,尤其是用于实现擒纵轮和擒纵叉以及其它摩擦相关零件。专利技术
技术介绍
对微机械零件的技术需求在不断增长。除了最高的精确度,还需要提供在机械系统中的最高的能效、长寿命,且在尽可能的范围内完全放弃润滑剂。在过去几年中,发表了许多涉及该主题的文章。其中描述的方法完成了某些任务,但主要由于所用材料的限制,未能提出一个完备的解决方法。通过机械加工(模切或仿形切割)制备的微机械零件表现出两个主要缺点。第一,它们或者价格昂贵,或者仅在大规模生产时才在经济上有利可图,原因在于需要昂贵的生产工具投资。第二,这些工艺受其技术所限,精度水平仅在正负5微米。因而在文献中已经讨论了一些替代方法。其中一个最有前途的想法涉及在硅晶片上刻蚀微机械部件以实现最高的精度,甚至超过迄今为止机械加工技术的结果。公差能降低至亚微米范围,但要以牺牲寿命为代价:实际结果显示,无润滑剂时这些部件的机械强度以及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:S·布尔班D·里夏尔B·吉洛门D·施泰因米勒H·德雷克泽尔D·施泰因米勒S·格霍德巴内
申请(专利权)人:斯沃奇集团研究及开发有限公司
类型:
国别省市:

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