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涂布微机械系统中的微机械零件,尤其是手表机芯的方法,包括:提供待涂布的基体(4)零件;为所述零件提供掺杂有硼的第一金刚石涂层(2);为所述零件提供第二金刚石涂层(3);其中:所述第二金刚石涂层(3)在反应室中通过CVD提供;在CVD沉积过程...该专利属于斯沃奇集团研究及开发有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯沃奇集团研究及开发有限公司授权不得商用。
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