【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于TiNi合金表面沉积金刚石薄膜的方法，具体涉及一种采用双层辉光离子渗金属方法和化学气相沉积方法相结合在TiNi合金表面制备金刚石涂层的方法。
技术介绍
TiNi合金是一种综合性能优良的形状记忆合金，越来越多地被应用于医疗器械行业，作为植入体材料制作血管支架或牙科及骨科器具。但是，TiNi合金在医疗应用中存在以下两个问题，一是作为植入体，特别是牙科及骨科器具，需要长期服役，在人体环境中耐磨性不足，由此产生的过度磨损会带来患者的痛苦甚至发生病变；另外一方面，TiNi合金中含有较高Ni元素，长期使用过程中Ni离子析出进入人体会造成伤害。因此如何对TiNi合金进行表面防护处理，以提高其摩擦学性能，同时阻止或减缓Ni离子的析出，成为制约其应用的一个关键因素。金刚石具有极高的硬度和很低的摩擦系数，此外膨胀系数低，化学稳定性强，是很理想的耐磨材料。金刚石薄膜的沉积技术经多年发展已经很成熟，应用范围也很广泛。但是在TiNi合金表面沉积金刚石薄膜的工作极为有限，究其原因主要有两方面，一是TiNi合金硬度较低，在软基体上直接沉积超硬薄膜，基体无法对膜材提供有效支撑，膜...
【技术保护点】
一种TiNi合金表面制备金刚石涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：利用双层辉光离子渗金属方法在TiNi合金表面渗钼，然后利用化学气相沉积方法进行金刚石薄膜沉积，使TiNi合金表面形成金刚石薄膜/渗钼层复合涂层，即得成品。
【技术特征摘要】
1.一种TiNi合金表面制备金刚石涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤: 利用双层辉光离子渗金属方法在TiNi合金表面渗钥，然后利用化学气相沉积方法进行金刚石薄膜沉积，使TiNi合金表面形成金刚石薄膜/渗钥层复合涂层，即得成品。2.根据权利要求1所述的一种TiNi合金表面制备金刚石涂层的方法，其特征在于: 所述的利用双层辉光离子渗金属方法在TiNi合金表面渗钥是首先将TiNi合金置入双层辉光离子渗金属炉，溅射靶材选用钥板，靶材和TiNi合金采用竖直悬挂设置，间距为20mm，工作气体为高纯氩气；溅射完成后，对TiNi合金表面进行基材溅射清理，工艺参数为:工作气压20±5Pa，基材工作电...
【专利技术属性】
技术研发人员：贺志勇，王振霞，于盛旺，申艳艳，赵远涛，宁来元，金腾，
申请(专利权)人：太原理工大学，
类型：发明
国别省市：
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