一种直流等离子体喷射法制得的金刚石厚膜制造技术

本发明专利技术公开了一种直流等离子体喷射法制得的金刚石厚膜，其直径大于120mm，厚度大于1mm，该厚膜采用下列生产工艺制得，具体步骤为：准备基材；基材表面预处理；金刚石沉积：采用150千瓦直流电弧等离子喷射设备在基材表面沉积金刚石，在1180℃高温和105Pa高气压下，氩气、氢气和甲烷按照体积比10～20：5～9：1～6充分混合，以20～40l/min的流速在基材表面进行沉积金刚石，金刚石的沉积速度为0～20微米/小时；金刚石表面处理；金刚石激光切割；产品检验；产品包装。采用该技术方案后，生产出来的金刚石厚膜质量稳定，表面晶粒大小均匀，无肉眼可见裂纹，硬度、密度、透光性和天然金刚石极为接近。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种金刚石厚膜，尤其涉及一种采用直流等离子体喷射法制得的金刚石厚膜。
技术介绍
金刚石刀具具有工作效率高、使用寿命长和加工质量好的优点，目前主要用于精加工。近几年来，由于生产工艺的不断完善，金刚石刀具的使用范围不断扩大，除了适用于一般的精加工和半精加工外，还可以由于粗加工。金刚石刀具一般采用金刚石厚膜切割而成，金刚石厚膜的制作水平高低，直接影响金刚石刀具的发展。目前国内已有采用磁控/流体学动力学控制的大口径、长通道直流电弧等离子体 炬和半封闭式气体循环技术制备的金刚石厚膜，但直径未有达到120_的。这对金刚石刀具的尺寸产生了很大的制约作用。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的不足之处，本专利技术的目的在于提供一种直流等离子体喷射法制得的金刚石厚膜，其直径可达到120_，厚度可达到1_。本专利技术的目的通过下述技术方案实现 一种直流等离子体喷射法制得的金刚石厚膜，其直径大于120mm，厚度大于1mm，该厚膜采用下列生产工艺制得，具体步骤为 1)准备基材； 2)基材表面预处理； 3)金刚石沉积采用150千瓦直流电弧等离子喷射设备在基材表面沉积金刚石，在1180°C高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种直流等离子体喷射法制得的金刚石厚膜，其特征在于：厚膜直径大于120mm，厚度大于1mm，该厚膜采用下列生产工艺制得，具体步骤为：准备基材；基材表面预处理；金刚石沉积：采用150千瓦直流电弧等离子喷射设备在基材表面沉积金刚石，在1180℃高温和105Pa高气压下，氩气、氢气和甲烷按照体积比10～20：5～9：1～6充分混合，以20～40?l/min的流速在基材表面进行沉积金刚石，金刚石的沉积速度为0～20微米/小时；金刚石表面处理；金刚石激光切割；产品检验；产品包装。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李建林，邹泽宏，宫云霞，
申请(专利权)人：河南飞孟金刚石工业有限公司，
类型：发明
国别省市：