低温泵制造技术

本发明专利技术提供一种低温泵，其降低受安装对象设计的影响之可能性。本发明专利技术的低温泵（10）具备低温低温板（18）、设置于低温低温板（18）的外侧的高温低温板（20）及设置于高温低温板（20）的外侧的泵壳（38）。高温低温板（20）具备向外侧延伸的扩张面板（34）。泵壳（38）具备包围扩张面板（34）的吸气口凸缘（56）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种低温泵。
技术介绍
一种低温泵，其包括:泵壳，接近升温低温板的周围而匹配且具有第一内径；入口阵列，收容于该泵壳的内侧；凸缘，将所述泵壳安装于具有第二内径的闸阀上；支架扩张部，安装于所述入口阵列且使所述入口阵列扩张至所述凸缘之上，所述第二内径大于所述第一内径。专利文献1:日本特开2010-25113号公报在低温泵的吸气口通常设置有例如也可称为挡板的低温板。有时为了提高某种气体(例如水分)的排气速度而期望使这种低温板大型化。但是，一般由于吸气口的大半已被该低温板占有，因此用于大型化的剩余空间较小。如上述，可想到使入口阵列扩张至低温泵外的结构。但是，这种结构的低温泵根据安装对象的设计有可能因该扩张部的阻碍而无法安装。
技术实现思路
本专利技术的一种方式的例示性目的之一在于，提供一种降低受安装对象设计的影响的可能性的低温泵。本专利技术的一种形态的低温泵具备:泵壳，具备向低温泵的吸气口沿轴向延伸的筒部；凸缘，具备设置于所 述筒部的开口端的径向外侧的内周部分和用于安装低温泵的外周部分；及入口低温板，位于所述吸气口。所述入口低温板在所述筒部的径向外侧具备扩张部分。在所述内周部分与所述外周部分之间沿轴向形成有高度差。所述入口低温板在所述扩张部分和所述内周部分之间沿轴向形成间隙，在所述扩张部分和所述外周部分之间沿径向形成间隙而被所述凸缘包围。根据该方式，低温泵的入口低温板在径向外侧具备扩张部分。由于在轴向观察时的投影面积变大，因此能够提高基于入口低温板的排气速度。在用于安装的凸缘外周部分与内周部分之间形成高度差，入口低温板被凸缘包围。凸缘的高度差提供在泵壳的筒部的径向外侧收纳入口低温板的扩张部分的余地。通过这种设计，能够兼顾提高低温泵的排气性能和降低受低温泵安装对象的影响的可能性。也可使所述外周部分具备用于安装的对准面，所述扩张部分沿轴向配置于所述对准面与所述内周部分的中间，且所述入口低温板收容于低温泵中。由于扩张部分配置于比用于安装凸缘的对准面更靠内侧，因此不会向低温泵外鼓出。通过入口低温板这样被收容于低温泵中，从而确保被扩张的入口低温板不受低温泵安装对象的影响。低温泵可进一步具备屏蔽板，该屏蔽板在所述筒部的内侧沿轴向延伸，且在与所述入口低温板之间沿轴向具有间隙。所述入口低温板也可具备用于覆盖所述间隙的裙部。入口低温板与屏蔽板之间的间隙可因制造上的误差而变动。误差与低温泵的个体差有关。向屏蔽件内的气体流入量根据间隙的大小而变化。气体的流入量与低温泵的排气速度直接相关。因此，有可能导致实际的排气性能偏离设计上的性能。通过设置用于覆盖间隙的裙部，能够限制通过间隙的流入。若因限制而使流入量变小，则流入量的个体差也与其相应地减少。其结果，也能够使排气性能的个体差的变动变小。所述入口低温板也可具备被所述扩张部分包围的中心部分、及所述扩张部分和所述中心部分的传热路径。所述扩张部分也可在所述传热路径的附近具备扩宽部。大型低温板对其冷却源赋予较大的负荷。传热路径的附近比远处更有利于冷却。因此，通过在用于入口低温板的传热路径的附近设置扩宽部，能够抑制热亏损的同时进一步扩大低温板面积。所述外周部分也可构成为使低温泵的所述吸气口与具备不同于该吸气口的形状的安装对象的开口匹配。如此一来，能够将低温泵装配在匹配的所期望的安装对象的开口。本专利技术的其他方式的低温泵具备:低温低温板；高温低温板，设置于所述低温低温板的外侧；及泵壳，设置于所述高温低温板的外侧。所述高温低温板具备向外侧伸长的扩张部分。所述泵壳具备包围该扩张部分的带阶梯的凸缘。根据该方式，低温泵泵壳的带阶梯的凸缘提供收纳高温低温板的扩张部分的余地。因此，能够兼顾提高低温泵的排气性能和降低受低温泵安装对象的影响的可能性。本专利技术的另一方式的低温泵具备:泵壳，具备向低温泵的吸气口沿轴向延伸的筒部；入口低温板，位于所述吸气口 ；及屏蔽板，在所述筒部的内侧沿轴向延伸，且在与所述入口低温板之间沿轴向具有间隙。所述入口低温板具备用于覆盖所述间隙的裙部。本专利技术的另一方式的低温泵具备低温低温板和设置于所述低温低温板的外侧的高温低温板。所述高温低温板具备入口低温板和屏蔽板。所述入口低温板在与所述屏蔽板的开口端之间具有间隙。所述入口低温板具备为了限制通过所述间隙的气体流量而设置的裙部。专利技术效果根据本专利技术，能够提供降低受安装对象设计的影响的可能性的低温泵。附图说明图1是示意地表示本专利技术的一实施方式所涉及的低温泵的截面图。图2是从上方观察图1所示的低温泵的图。图3是表示图1所示的低温泵的安装状态的图。图4是将图1所示的低温泵的一部分放大的截面图。图5是示意地表示本专利技术的其他实施方式所涉及的低温泵的图。图中:10_低温泵，12-吸气口，18-低温低温板，20-高温低温板，30-放射屏蔽件，32-入口低温板，34-扩张面板，36-屏蔽件开口端，38-泵壳，40-筒部，44-泵壳开口端，50-冷却板，52-扩张板，54-扩张板支承部，56-吸气口凸缘，58-闸阀，64-闸阀开口，66-内周部分，68-外周部分，70-凸缘凹部，72-对准面，74-凸缘凹部侧面，76-凸缘凹部底面，78-裙部，80-扩宽部。具体实施例方式图1是示意地表示本专利技术的一实施方式所涉及的低温泵10的截面图。低温泵10例如安装于离子注入装置或溅射装置等的真空腔室而用作将真空腔室内部的真空度提高至所期望的工艺中所要求的水平。低温泵10具有用于接受气体的吸气口 12。吸气口 12是朝向低温泵10的内部空间14的入口。应被排气的气体从安装有低温泵10的真空腔室通过吸气口 12进入低温泵10的内部空间14。除图1以外还参考图2至图4对低温泵10的结构进行说明。图1表示包括低温泵10的内部空间14的中心轴和制冷机16的截面。图1为图2的A-A截面图，图2为从上观察低温泵10的图。在图2中示出吸气口 12和其内侧的结构。图3为表示将低温泵10安装于真空腔室的状态的图。图4为将图1所示的低温泵10的一部分放大，具体而言是将吸气口 12的周边部放大的局部截面图。另外，以下为了通俗易懂地表示低温泵10的构成要件的位置关系，有时使用“轴向”、“径向”这种用语。轴向表示通过吸气口 12的方向，径向表示沿吸气口 12的方向。为方便起见，关于轴向有时将相对靠近吸气口 12的方向称为“上”，相对远离的方向称为“下”。即，有时将相对远离低温泵10的底部的方向称为“上”，相对靠近的方向称为“下”。关于径向，有时将靠近吸气口 12的中心的方向称为“内”，靠近吸气口 12的周边的方向称为“外”。另外，这种表达与低温泵10安装于真空腔室时的配置没有关系。例如，低温泵10也可在铅直方向使吸气口 12朝下来安装于真空腔室。低温泵10具备制冷机16、低温低温板18及高温低温板20。制冷机16是例如吉福德-麦克马洪式制冷机(·所谓GM制冷机)等超低温制冷机。制冷机16是具备第I冷却台22及第2冷却台24的2级式制冷机。制冷机16构成为将第I冷却台22冷却成第I温度水平，且将第2冷却台24冷却成第2温度水平。第2温度水平比第I温度水平更低温。例如，第I冷却台22冷却成65K 120K左右、优选冷却成80K 100K，第2冷却台24冷却成IOK 20K左右。如图1所示的低温泵1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低温泵，其特征在于，具备：泵壳，具备沿轴向向低温泵的吸气口延伸的筒部；凸缘，具备设置于所述筒部的开口端的径向外侧的内周部分和用于安装低温泵的外周部分；及入口低温板，位于所述吸气口，所述入口低温板在所述筒部的径向外侧具备扩张部分，在所述内周部分与所述外周部分之间沿轴向形成有高度差，所述入口低温板在所述扩张部分与所述内周部分之间沿轴向形成间隙，且在所述扩张部分与所述外周部分之间沿径向形成间隙，且所述入口低温板被所述凸缘包围。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：及川健，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：