一种专门抽除水蒸气的低温泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种专门抽除水蒸气的低温泵，包括低温泵泵壳、单级GM制冷机冷头、冷凝板，其中低温泵泵壳包括直筒体和焊接其底部的下法兰及焊接其顶部的泵口法兰，下法兰上设置有粗抽接口、安全阀、放水口及放水阀门，单级GM制冷机冷头安装固定于泵顶法兰上，冷头与低温泵泵壳的直筒体同轴，冷凝板固定在GM制冷机冷头的换热器上。本实用新型专利技术的低温泵泵壳的下法兰内部设计为中间高圆周低的结构，并在法兰外部设置有放水口和放水阀门，用于低温泵再生时放掉被抽除的水蒸气所凝结的水；本实用新型专利技术的低温泵结构形式，通导大，对水蒸气有很强的抽气能力和长时间高的抽气效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

Special low temperature pump for pumping water vapor

The utility model discloses a special low temperature pump pumping water vapor, including low temperature pump, single-stage GM cryocooler, a condensation plate, the cryogenic pump casing includes a cylindrical body and welding the bottom flange and welding under the top of the inlet flange, the flange is provided with a large pumping interface, safety valve, drain and drain valve, a single-stage GM refrigerator cold head is mounted on the pump top flange, straight tube coaxial cold head and low temperature pump, cooling plate fixed on the GM refrigerator cold head heat exchanger. Under the internal flange design of cryogenic pump pump shell of the utility model for the structure of middle high and low circle, water outlet and a drain valve is arranged in the outer flange, let the pumping water vapor condensation water pump for low temperature regeneration; the utility model has the advantages of low temperature pump structure, conducting, on there is water vapor pumping ability strong and long time high pumping efficiency.

【技术实现步骤摘要】

一种专门抽除水蒸气的低温泵
本技术属于真空制冷领域。具体来说，本技术涉及一种GM制冷机型低温泵，该低温泵主要是针对需要排出大量水蒸气的真空腔体而专利技术的，它是利用低温冷凝原理抽除水蒸气来获得腔体洁净的高真空。
技术介绍
某些行业如石英玻璃的制备过程中，工作腔体内会释放出大量的水蒸气，对水蒸气的抽除使用低温泵效果最为理想，但常规的低温泵泵口有障板通导较小，在抽除大量水蒸气时会造成冰堵，另外水蒸气进入低温泵内后很容易使二级吸附冷伞达到饱和，这两种现象都会影响低温泵的抽气能力下降，缩短有效工作周期。鉴于常规低温泵对抽除水蒸气的弊端，需要专利技术一种专门用于抽除水蒸气的低温泵。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提出了一种通导大，对水蒸气有很强的抽气能力和长时间高的抽气效率的专门抽除水蒸气的低温泵。本技术采用的技术方案是:一种专门抽除水蒸气的低温泵，包括低温泵泵壳、单级GM制冷机冷头、冷凝板，其中低温泵泵壳包括直筒体和焊接其底部的下法兰及焊接其顶部的泵口法兰，下法兰上设置有粗抽接口、安全阀、放水口及放水阀门，单级GM制冷机冷头安装固定于低温泵泵壳下法兰上，冷头与低温泵泵壳的直筒体同轴，冷凝板固定在GM制冷机冷头的换热器上。其中，泵壳下法兰上的放水口焊接一直管，直管端安装一阀门，用于低温泵再生时放掉被抽除的水蒸气所凝结的水。进一步地，下法兰内部设计为中间高圆周低的结构，利于放掉凝结水。进一步地，粗抽接口管和安全阀接口管在泵壳内部都有一个90度折弯角，避免凝结水进入粗抽口和安全阀内。进一步地，冷凝板根据所需要的抽速对应不同的冷凝面积可设计成不同的结构形式，可为单个板，也可为多个板组合形式，不同形式冷凝板的底部都有一个圆形平板结构，其上有螺钉孔，通过螺钉将冷凝板固定于制冷机冷头的换热器上，二者连接处垫有铟片。其中，单个板形式的冷凝板为圆弧型和圆锥型，底部冲压一圆形平板。其中，多个板组合形式的冷凝板为一圆形平板，其上焊接或铆接多个竖直长方形平板。本技术的优点是:本技术的低温泵泵壳的下法兰内部设计为中间高圆周低的结构，并在法兰外部设置有放水口和放水阀门，用于低温泵再生时放掉被抽除的水蒸气所凝结的水；本技术的低温泵结构形式，通导大，对水蒸气有很强的抽气能力和长时间高的抽气效率。附图说明以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的专门抽除水蒸气的低温泵的结构示意图。图2是本技术专门抽除水蒸气的低温泵泵壳的结构示意图。图3是本技术的专门抽除水蒸气的低温泵的单个板圆弧形式冷凝板的结构示意图。图4是本技术的专门抽除水蒸气的低温泵的单个板圆锥形式冷凝板的结构示意图。图5是本技术的专门抽除水蒸气的低温泵的多个板组合形式冷凝板的结构示意图。具体实施方式图1是本技术的专门抽除水蒸气的低温泵的结构示意图。该低温泵包括低温泵泵壳1、单级GM制冷机冷头2、冷凝板3，其中低温泵泵壳I包括直筒体4和焊接在其底部的下法兰5以及焊接在其顶部的泵口法兰6，在下法兰5上焊接一个粗抽接口 7、一个安全阀8和一个放水口 9，其中粗抽接口 7内管和安全阀8接口内管有一个90度折弯，放水口 9焊接的直管端部安装放水阀门10，单级GM制冷机冷头2固定于下法兰5上与低温泵泵壳I的直筒体4同轴，冷凝板3由低温泵泵壳I的泵口法兰6端装入泵壳I内部安装于制冷机冷头2的换热器上，并用螺钉固定。图2是本技术专门抽除水蒸气的低温泵泵壳的结构示意图。其中，组成低温泵泵壳I的各部件均采用氩弧焊接的连接方式，焊接泄漏率GXlO-uiPa.m3/s，各部件材料均为SUS304不锈钢，泵壳内外表面采用机械抛光处理。图3给出了本技术的专门抽除水蒸气的低温泵的单个板圆弧形式冷凝板的结构示意图。冷凝板采用无氧铜板材料卷制而成，线切割成圆形截面，圆弧底部冲压出一个圆形平板，用于与冷头换热器平面接触连接，整体镀亮镍处理。图4给出了本技术的专门抽除水蒸气的低温泵的单个板圆锥形式冷凝板的结构示意图。冷凝板采用无氧铜板材料滚制或冲压成型图示结构，并进行镀亮镍处理。图5给出了本技术的专门抽除水蒸气的低温泵的多个板组合形式冷凝板的结构示意图。圆形平板11和竖直平板12都采用无氧铜材料，竖直平板12为长方形结构立在圆形平板11上，二者采用钎焊连接，也可将长方形竖直平板12 —端折个直角边，在直角边上开些孔，对应圆形平板11上也开些孔，通过铆钉将竖直平板12与圆形平板11铆接在一起，铆接前在二者之间垫一层铟片以减少接触热阻，整体镀亮镍处理。本技术的低温泵结构可以应用于各种不同口径的泵上，各部分结构尺寸依据泵的口径决定做相应的调整。冷凝板的几种结构形式是可以根据低温泵对水蒸气的抽速和抽气容量来选择和进行相应的修改的，冷凝板的底部均开一通孔，以便低温泵再生时冷凝水下流到泵壳底部。尽管上文对本技术的具体实施方式给予了详细描述和说明，但是应该指明的是，本领域的技术人员可以依据技术的精神对上述实施方式进行各种等效改变和修改，其所产生的功能作用在未超出说明书及附图所涵盖的精神时，均应在本技术保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种专门抽除水蒸气的低温泵，包括低温泵泵壳、单级GM制冷机冷头、冷凝板，其中低温泵泵壳包括直筒体和焊接在其底部的下法兰及焊接其顶部的泵口法兰，下法兰上设置粗抽接口、安全阀、放水口及放水阀门，单级GM制冷机冷头安装固定在下法兰上，单级GM制冷机冷头与低温泵泵壳的直筒体同轴，冷凝板固定在GM制冷机冷头的换热器上。

【技术特征摘要】
1.一种专门抽除水蒸气的低温泵，包括低温泵泵壳、单级GM制冷机冷头、冷凝板，其中低温泵泵壳包括直筒体和焊接在其底部的下法兰及焊接其顶部的泵口法兰，下法兰上设置粗抽接口、安全阀、放水口及放水阀门，单级GM制冷机冷头安装固定在下法兰上，单级GM制冷机冷头与低温泵泵壳的直筒体同轴，冷凝板固定在GM制冷机冷头的换热器上。2.如权利要求1所述的专门抽除水蒸气的低温泵，其特征在于，所述低温泵泵壳的下法兰上设置有一个放水口，放水口的直管端安装一放水阀门。3.如权利要求1或2所述的专门抽除水蒸气的低温泵，其特征在于，所述低温泵泵壳的下法兰设计为中间高圆周低的结构。4.如权利要求1所述的专门抽除水蒸气的低温泵，其特征在于，所述粗抽接口内管和安全阀接口内管折弯成90度。5.如权利要求1所述的专门抽除水蒸气的低温泵，其特征在于，所述冷凝板包括单个板结构形式和多个板组合结构形式。6.如权利要求5所述的专门抽除水蒸气的低温泵...

【专利技术属性】
技术研发人员：武义锋，徐中堂，刘娜，
申请(专利权)人：安徽万瑞冷电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：