【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种双低温泵系统，其特征在于，包括：工艺腔；第一低温泵，第一隔离阀以及第一抽气管，所述第一隔离阀与所述第一低温泵相连，所述第一抽气管连接于所述第一隔离阀与所述工艺腔之间；第二低温泵，第二隔离阀以及第二抽气管，所述第二隔离阀与所述第二低温泵相连，所述第二抽气管连接于所述第二隔离阀与所述工艺腔之间；以及控制单元，与所述第一隔离阀和第二隔离阀相连，所述控制单元判断所述第一低温泵是否满足维护条件，并在其维护条件时关闭所述第一隔离阀同时打开所述第二隔离阀，其中所述维护条件为所述第一低温泵故障或所述第一低温泵的工作参数达到预设值。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
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