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本发明公开了一种双低温泵系统，应用于晶圆生产中，包括工艺腔；第一低温泵，第一隔离阀以及第一抽气管；第二低温泵，第二隔离阀以及第二抽气管；以及控制单元，与第一隔离阀和第二隔离阀相连，判断第一低温泵是否满足维护条件，并在第一低温泵满足维护条件时...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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