本发明专利技术涉及一种开有斜槽的石英舟结构，包括底座，底座上装置舟体，于舟体的两端设置可与搬运器插接的安装孔，在舟体上开有多个可供硅片插入的安装槽及导气孔。本发明专利技术通过将舟体设计为弧形，同时将舟体上的槽设置成与垂直方向呈一定角度的斜槽，使硅片的排列方向一致，提高硅片与舟体的接触面积，避免以往因槽磨损而出现硅片倾斜或粘接的情况，并大大降低了工艺碎片发生的几率，同时在舟体上还开有导气孔，大大提高了气体的扩散均匀性。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种用于制造石英件的，开有斜槽的石英舟结构。
技术介绍
石英舟广泛应用于半导体制造工业，尤其在太阳能、分立器件芯片制造的扩散工艺上使用较为广泛，石英舟的作用是用来装置硅片，然后将其安装在炉管的桨上，由桨推入炉管内部进行掺杂及扩散工艺。目前，传统的石英舟一般由纵向的石英棒以及横向连接的石英条组成，在纵向的石英棒上开有与水平面相垂直的槽并装置硅片，对于此种结构的石英舟，由于硅片的固定点有限，并且硅片与硅片之间呈平行竖直排列，当工艺气体设置为流量较大的时候，硅片易受流量影响产生晃动，造成碎片，另外这种与水平方向垂直的槽在出现磨损情况，相邻的两硅片易粘接在一起，影响气体的扩散均匀性。
技术实现思路
本申请人针对上述问题，进行了研究改进，提供一种结构简单、安装方便的开有斜槽的石英舟结构，减少了工艺碎片的情况，提高了气体的扩散均匀性。本专利技术所采用的技术方案如下: 一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于:包括底座，底座上装置舟体，于舟体的两端设置可与搬运器插接的安装孔，在舟体上开有多个可供硅片插入的安装槽及导气孔。其进一步技术方案在 于: 所述安装槽为一斜槽，斜槽与垂直线之间形成2° 5°的夹角，于斜槽上还开有倒角，倒角的角度为59° 61° ; 于舟体上，位于安装孔的内侧还装置手柄，手柄为长条形； 所述舟体上还开有长圆形插槽，长圆形插槽至少为5个； 所述舟体两腰线之间的形成的夹角α为119° 121° ； 所述舟体上开有的导气孔至少为5个，导气孔为长圆形； 所述安装孔为4个。所述底座为3个，分别位于舟体的前部、中部及后部。本专利技术的有益效果如下: 本专利技术通过将舟体设计为弧形，同时将舟体上的槽设置成与垂直方向呈一定角度的斜槽，使硅片的排列方向一致，提高硅片与舟体的接触面积，避免以往因槽磨损而出现硅片倾斜或粘接的的情况，并大大降低了工艺碎片发生的几率，同时在舟体上还开有导气孔，大大提高了气体的扩散均匀性。附图说明图1为本专利技术的主视图。图2为图1的俯视图。图3为本专利技术斜槽的局部的结构示意图。具体实施例方式下面结合附图，说明本专利技术的具体实施方式。如图1、图2所示，本专利技术包括底座4，底座4为3个，底座4上装置舟体2，舟体2两腰线之间的形成的夹角α为119 121°，于舟体2的两端设置可与搬运器插接的安装孔3，安装孔3为4个。在舟体2上开有多个可供硅片插入的安装槽及导气孔5。舟体2上开有的导气孔5至少为5个， 导气孔5为长圆形。如图3所示，安装槽为一斜槽201，斜槽201与垂直线之间形成2° 5。的夹角，于斜槽201上还开有倒角，倒角的角度为60° 59° 61°。如图2所示，舟体2上，位于安装孔3的内侧还装置手柄6，手柄6为长条形。在舟体2上还开有长圆形插槽7，长圆形插槽7至少为5个，长圆形插槽7保证了舟体2进入炉内后与气体的充分交融、接触，上述底座4分别位于舟体2的前部、中部及后部 本专利技术的具体工作过程如下: 将娃片依次放入斜槽201内，由于斜槽具有一定角度,各娃片朝相同方向倾斜,利用手柄6拿起本专利技术，利用底座4安装在浆(图中未示出)，通过桨将本专利技术推入炉内，通过导气孔5、长圆形插槽7、以及斜槽201，可使工艺气体与硅片充分接触，使硅片和舟接触的部分也得到均匀的掺杂和扩散。本专利技术通过将舟体设计为弧形，同时将舟体上的槽设置成与垂直方向呈一定角度的斜槽，使硅片的排列方向一致，提高硅片与舟体的接触面积，避免以往因槽磨损而出现硅片倾斜或粘接的的情况，并大大降低了工艺碎片发生的几率，同时在舟体上还开有导气孔，大大提高了气体的扩散均匀性。以上描述是对本专利技术的解释，不是对专利技术的限定，本专利技术所限定的范围参见权利要求，在不违背本专利技术的基本结构的情况下，本专利技术可以作任何形式的修改。权利要求1.一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于:包括底座(4)，底座(4)上装置舟体(2)，于所述舟体(2)的两端设置可与搬运器插接的安装孔(3)，在舟体(2)上开有多个可供硅片插入的安装槽及导气孔(5)。2.如权利要求1所述的一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于:所述安装槽为一斜槽(201)，所述斜槽(201)与垂直线之间形成2° 5。的夹角，于所述斜槽(201)上还开有倒角，倒角的角度为59° 61°。3.如权利要求1所述的一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于:于所述舟体(2)上，位于安装孔(3 )的内侧还装置手柄(6 )，所述手柄(6 )为长条形。4.如权利要求1所述的一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于:所述舟体(2)上还开有长圆形插槽(7),所述长圆形插槽(7)至少为5个。5.如权利要求1所述的一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于:所述舟体(2)两腰线之间的形成的夹角α为119° 121°。6.如权利要求1所述的一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于:所述舟体(2)上开有的导气孔(5)至少为5个，导气孔(5)为长圆形。7.如权利要求1所述的一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于:所述安装孔(3)为4个。8.如权利要求1所述的一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于:所述底座(4)为3个，分别位于舟体(2)的前部、中部及后部。全文摘要本专利技术涉及一种开有斜槽的石英舟结构，包括底座，底座上装置舟体，于舟体的两端设置可与搬运器插接的安装孔，在舟体上开有多个可供硅片插入的安装槽及导气孔。本专利技术通过将舟体设计为弧形，同时将舟体上的槽设置成与垂直方向呈一定角度的斜槽，使硅片的排列方向一致，提高硅片与舟体的接触面积，避免以往因槽磨损而出现硅片倾斜或粘接的情况，并大大降低了工艺碎片发生的几率，同时在舟体上还开有导气孔，大大提高了气体的扩散均匀性。文档编号H01L21/673GK103236410SQ20131015467公开日2013年8月7日 申请日期2013年4月28日 优先权日2013年4月28日专利技术者赵之俊, 刘明, 赵峰 申请人:康可电子(无锡) 有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于：包括底座（4），底座（4）上装置舟体（2），于所述舟体（2）的两端设置可与搬运器插接的安装孔（3），在舟体（2）上开有多个可供硅片插入的安装槽及导气孔（5）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵之俊，刘明，赵峰，
申请(专利权)人：康可电子无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：
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