一种高通量大口径光学引导与检测装置及其光路调整方法制造方法及图纸

技术编号:9007376 阅读:151 留言:0更新日期:2013-08-08 02:27
一种高通量大口径光学引导与检测装置及其光路调整方法。本发明专利技术的目的是为了实现高通量大口径光学聚焦与频率转换系统中光路引导与检测问题。该一种高通量大口径光学引导与检测装置主要由取样法兰组件、光束波形测量组件、光束能量测量组件、半透射镜组件、反射镜组件和屏蔽衰减组件组成,调整两个偏摆调整螺栓和两个俯仰调整螺栓以调整反射镜和半透视镜的位置,确保取样光路的正确。本发明专利技术的有益效果是:该高通量大口径光学引导与检测装置及其光路,能够在有限空间内通过现场试安装后的实际测试对取样光路进行修正,确保能量卡计迎光面的面积在可控范围内,同时光电管能够对取样光束进行采样分析。

【技术实现步骤摘要】

:本专利技术涉及一种高通量大口径光学聚焦与频率转换装置,具体涉及一种高通量大口径光学引导与检测装置。
技术介绍
:光路引导与检测装置用于高通量大口径光学聚焦与频率转换系统中在有限的空间内完成取样光路的引导与光束能量、波形的检测,同时完成光学取样模块和光路调整与检测模块之间真空隔离,并且实现屏蔽衰减组件的快速在线更换,使得光束检测装置在系统运行过程中免受损坏。目前尚无成熟的装置实现高通量大口径光学引导与检测的装置
技术实现思路
:本专利技术的目的是为了实现高通量大口径光学聚焦与频率转换系统中光路引导与检测问题,进而提供一种高通量大口径光学光路引导与检测装置。本专利技术的技术方案是:一种高通量大口径光学引导与检测装置,包括装置壳体,装置壳体为一空心具有若干法兰口的薄板组成的壳体,装置壳体下端法兰连接取样法兰组件,取样法兰组件的取样法兰为一直角三菱形壳体,直角边有法兰连接装置壳体,直角边法兰内连接真空隔离窗口及窗口压板,取样法兰的直角三菱形壳体的斜边有法兰口 ;装置壳体连接取样法兰组件的法兰上面有与该法兰平行的上下两个滑道,滑道内安装有屏蔽衰减组件,装置壳体的一个侧板在两个滑道之间开有长方形孔,屏蔽衰减组件通过锁紧螺母及挡块与装置壳体固定,屏蔽衰减组件由框体和框体内固定的衰减片和框体外侧的拉手组成;在屏蔽衰减组件外侧,装置壳体连接光束测量组件的光电管座,光电管座中心连接有光电管,光电管座尾部通过屏蔽罩调整螺栓连接屏蔽罩,装置壳体顶部有方形法兰连接光束能量测量组件的卡计罩,卡计罩内固定有长方体形能量卡计;装置壳体内腔体中部两侧板通过半透射镜轴承连接半透射镜组件的半透射镜,装置壳体内腔的底板和后面板上的轴承座通过反射镜轴承连接反射镜组件的反射镜,反射镜平面与取样法兰组件的真空隔离窗口平面形成夹角b,反射镜平面与半透射镜平面形成夹角a,衰减屏蔽组件的衰减片平面与光电管座主体截面呈夹角C,能量卡计平面与半透射镜平面平行。上述方案中,反射镜为不透明的镜面体,半透射镜为半透明镜面体。上述方案中,半透射组件的半透射镜的上下端面与俯仰调整螺栓接触,俯仰调整螺栓与装置壳体螺纹连接,俯仰调整螺栓与装置壳体之间有锁紧螺母。上述方案中,反射镜组件的反射镜左右两侧中心位置的背面与两个偏摆调整螺栓接触,偏摆调整螺栓与装置壳体螺纹连接,偏摆调整螺栓与装置壳体之间有锁紧螺母。上述方案中,夹角a的角度是95°,夹角b的角度是45°,夹角c的角度是10°。 上述的一种高通量大口径光学引导与检测装置,其光路调整方法为:松开俯仰调整螺栓的锁紧螺母,调整俯上下两个仰调整螺栓至指定位置,锁紧俯仰调整螺栓的锁紧螺母;松开左右两个偏摆调整螺栓的锁紧螺母,调整左右两个偏摆调整螺栓至指定位置,锁紧偏摆调整螺栓的锁紧螺母。本专利技术具有如下有益效果:在高通量大口径光学聚焦与频率转换系统中,对取样光束的测量分别通过能量卡计、光电管实现对取样光束的能量和波形的测量,由于光学聚焦频率转换系统中存在大量的物理诊断设备,因重力负荷引起的变形的可预测性较低,力口上抽真空变形的影响,安装精度是一个无法确定的影响因素,只能通过现场试安装后的实际测试对取样光路进行修正,确保能量卡计迎光面的面积在可控范围内,同时光电管能够对取样光束进行采样分析。附图说明:附图1是本专利技术的立体结构示意图;附图2是本专利技术的没安装件I的透视轴测图;附图3是本专利技术的外观轴测图;附图4是本专利技术件6的轴测图。图中1,取样法兰组件;11,取样法兰;12,真空隔离窗口 ;13,窗口压板;2,光束测量组件;21,屏蔽罩;22,光电管;23,屏蔽罩调整螺栓;24,光电管座;3,光束能量测量组件;31,能量卡计;32,卡计罩;4,半透射镜组件;41,半透射镜轴承;42,半透射镜;43,俯仰调整螺栓;5,反射镜组件;51反射镜轴承;52反射镜;53,偏摆调整螺栓;6,屏蔽衰减组件;61,锁紧螺母及挡块;62,拉手;63,框体;64,衰减片;7,装置壳体;8,夹角a ;9,夹角b ;10,夹角`Co具体实施方式:下面结合附图对本专利技术作进一步说明:由图1结合图2、图3和图4所示,一种高通量大口径光学引导与检测装置,包括装置壳体7,装置壳体7为一空心具有若干法兰口的薄板组成的壳体,装置壳体7下端法兰连接取样法兰组件I,取样法兰组件I的取样法兰11为一直角三菱形壳体,直角边有法兰连接装置壳体7,直角边法兰内连接真空隔离窗口 12及窗口压板13,取样法兰11的直角三菱形壳体的斜边有法兰口 ;装置壳体7连接取样法兰组件I的法兰上面有与该法兰平行的上下两个滑道,滑道内安装有屏蔽衰减组件6,装置壳体7的一个侧板在两个滑道之间开有长方形孔,屏蔽衰减组件6通过锁紧螺母及挡块61与装置壳体7固定,屏蔽衰减组件可以通过锁紧螺母及挡块61和装置壳体上的滑道进行快速安装与更换,屏蔽衰减组件6由框体63和框体63内固定的衰减片64和框体63外侧的拉手62组成,衰减片64可以将进入的光线衰减,避免损坏光电管22,屏蔽衰减组件6还可以防止损坏的光学元件进入光束测量组件,保护光电管22 ;在屏蔽衰减组件6外侧,装置壳体7连接光束测量组件2的光电管座24,光电管座24中心连接有光电管22,光电管座24尾部通过屏蔽罩调整螺栓23连接屏蔽罩21,装置壳体7顶部有方形法兰连接光束能量测量组件3的卡计罩32,卡计罩32内固定有长方体形能量卡计31 ;装置壳体7内腔体中部两侧板通过半透射镜轴承41连接半透射镜组件4的半透射镜42,装置壳体7内腔的底板和后面板上的轴承座通过反射镜轴承51连接反射镜组件5的反射镜52,反射镜52平面与取样法兰组件I的真空隔离窗口 12平面形成夹角b9,反射镜52平面与半透射镜42平面形成夹角a8,衰减屏蔽组件6的衰减片64平面与光电管座24主体截面呈夹角clO,能量卡计31平面与半透射镜42平面平行,使得投射到能量卡计31的光能达到最大值。上述方案中的反射镜52为不透明的镜面体,半透射镜42为半透明镜面体,反射镜52将取样光路的光全部反射到半透视镜42的镜面上,投射到半透视镜42的光,一部分透射进入能量卡计31,一部分反射通过衰减片64进入光电管22。上述方案中,半透射组件4的半透射镜42的上下端面与俯仰调整螺栓43接触,俯仰调整螺栓43与装置壳体7螺纹连接,俯仰调整螺栓43与装置壳体7之间有锁紧螺母。上述方案中,反射镜组件5的反射镜52左右两侧中心位置的背面与两个偏摆调整螺栓53接触,偏摆调整螺栓53与装置壳体7螺纹连接,偏摆调整螺栓53与装置壳体7之间有锁紧螺母。上述方案中,夹角a8的角度是95°,夹角b9的角度是45°,夹角clO的角度是10。。上述的一种高通量大口径光学引导与检测装置,其光路调整方法为:松开俯仰调整螺栓43的锁紧螺母,调整上下两个俯仰调整螺栓43至指定位置,调整反射镜52与半透视镜42之间的夹角,锁紧俯仰调整螺栓43的锁紧螺母;松开左右两个偏摆调整螺栓53的锁紧螺母,调整左右两个偏摆调整螺栓53至指定位置,调整反射镜52的·左右偏摆,使得取样光路可以通过反射镜52反射到半透视镜42的表面,锁紧偏摆调整螺栓53的锁紧螺母。上述的实施方案,仅用于方便说明本专利技术而不是对本专利技术的权利的限制,因此依本专利技术申请范围所作的等同变化本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高通量大口径光学引导与检测装置,包括装置壳体(7),装置壳体(7)为一空心具有若干法兰口的薄板组成的壳体,装置壳体(7)下端法兰连接取样法兰组件(1),取样法兰组件(1)的取样法兰(11)为一直角三菱形壳体,直角边有法兰连接装置壳体(7),直角边法兰内连接真空隔离窗口(12)及窗口压板(13),取样法兰(11)的直角三菱形壳体的斜边有法兰口;装置壳体(7)连接取样法兰组件(1)的法兰上面有与该法兰平行的上下两个滑道,滑道内安装有屏蔽衰减组件(6),装置壳体(7)的一个侧板在两个滑道之间开有长方形孔,屏蔽衰减组件(6)通过锁紧螺母及挡块(61)与装置壳体(7)固定,屏蔽衰减组件(6)由框体(63)和框体(63)内固定的衰减片(64)和框体(63)外侧的拉手(62)组成;在屏蔽衰减组件(6)外侧,装置壳体(7)连接光束测量组件(2)的光电管座(24),光电管座(24)中心连接有光电管(22),光电管座(24)尾部通过屏蔽罩调整螺栓(23)连接屏蔽罩(21),装置壳体(7)顶部有方形法兰连接光束能量测量组件(3)的卡计罩(32),卡计罩(32)内固定有长方体形能量卡计(31);装置壳体(7)内腔体中部两侧板通过半透射镜轴承(41)连接半透射镜组件(4)的半透射镜(42),装置壳体(7)内腔的底板和后面板上的轴承座通过反射镜轴承(51)连接反射镜组件(5)的反射镜(52),反射镜(52)平面与取样法兰组件(1)的真空隔离窗口(12)平面形成夹角b(9),反射镜(52)平面与半透射镜(42)平面形成夹角a(8),衰减屏蔽组件(6)的衰减片(64)平面与光电管座(24)主体截面呈夹角c(10)。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:梁迎春郭永博于福利卢礼华张庆春
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学
类型:发明
国别省市:

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