【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种在高温环境下具有高稳定性的压力传感器微纳结构，其特征在于：它包括碳化硅膜片、反射膜、半反射膜、键合层、碳化硅基板、封装层和蓝宝石光纤；反射膜镀在碳化硅膜片中部，半反射膜镀在蓝宝石光纤末端，键合层位于碳化硅膜片与碳化硅基板之间，蓝宝石光纤通过封装层与碳化硅基板连接，用于传输光信号；所述碳化硅膜片，为圆形薄片，当外界作用一压力时会引起膜片的变形；所述反射膜，镀在碳化硅膜片上中部位置，增强光的反射率；所述半反射膜，镀在蓝宝石光纤末端，增强光的干涉效果；所述键合层，为二氧化硅材质，使碳化硅膜片与碳化硅基板键合在一起；所述碳化硅基板，为圆形薄片，在其上分别设置有腔体和光纤定位孔；所述封装层，为高温陶瓷胶，用于蓝宝石光纤和碳化硅基板的封装；所述蓝宝石光纤，与碳化硅基板连接，用于传输光信号。
【技术特征摘要】
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