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一种在高温环境下具有高稳定性的压力传感器微纳结构，它包括碳化硅膜片、反射膜、半反射膜、键合层、碳化硅基板、封装层和蓝宝石光纤；反射膜镀在碳化硅膜片中部，半反射膜镀在蓝宝石光纤末端，键合层位于碳化硅膜片与碳化硅基板之间，蓝宝石光纤通过封装层与...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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