【技术实现步骤摘要】
本技术涉及压力传感器领域，具体涉及一种高温压力传感器。
技术介绍
作为各类控制装置及系统信息获取与传输的核心器件，压力传感器及其相关技术的迅速发展，使得各个领域的自动化程度越来越高。与传统的电学压力传感器相比，光纤压力传感器具有抗干扰能力强、动态测试范围宽、高分辨率、体积小且易于多路复用或分路感应等优点，因而在航空、航天、电子等领域中都得到了广泛使用。同时，随着以微电子、微机械加工与封装技术巧妙结合的MEMS技术不断发展，利用MEMS技术制造的光纤压力传感器以其重量轻、功能强，具有频带宽和灵敏度高的特性，并且与集成电路工艺兼容能够批量生产，更是成为了当下研究和开发的热点。其中，光纤法珀传感器具备结构简单紧凑、受环境波动影响不大、对感应信号衰落不敏感、分辨率高和灵敏度高等优点，已广泛应用于各种物理、化学和生物医学参数的检测及对于压力、温度、流速等的实时系统监测。高温压力的测量在航空航天、汽车、石油等领域都有广泛应用。例如实时监测航天器发动机燃烧室中的压力，可以帮助分析发动机的工作性能，及时避免发动机喘振等不良问题。目前，多数发动机内温度在300℃-1000℃，甚至...
【技术保护点】
一种高温压力传感器，其特征在于，包括传感头、光纤(1)、玻璃管(2)，所述传感头包括玻璃基底(5)、单抛硅片(6)和硅膜片(7)，玻璃基底(5)底面设有一空腔，单抛硅片(6)安装在空腔内，且底面与硅膜片(7)的上顶面相连，硅膜片(7)下端设有一深腔，所述传感头为方形，所述玻璃基底(5)顶面中部设有一圆形凸台(4)，所述圆形凸台(4)的中心处设有一通孔，所述玻璃管(2)套接在光纤(1)外，且玻璃管(2)的一端插入通孔与传感器、光纤实现固接。
【技术特征摘要】
1.一种高温压力传感器，其特征在于，包括传感头、光纤(1)、玻璃管(2)，所述传感头包括玻璃基底(5)、单抛硅片(6)和硅膜片(7)，玻璃基底(5)底面设有一空腔，单抛硅片(6)安装在空腔内，且底面与硅膜片(7)的上顶面相连，硅膜片(7)下端设有一深腔，所述传感头为方形，所述玻璃基底(5)顶面中部设有一圆形凸台(4)，所述圆形凸台(4)的中心处设有一通孔，所述玻璃管(2)套接在光纤(1)外，且玻璃管(2)的一端插入通孔与传感器、光纤实现固接。2.如权利要求1所述的一种高温压力传感器，其特征在于，所用光纤(1)为单模光纤或多模光纤。3.如权利要求1所述的一种高温压力传感器...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾平岗，房国成，梁昊，曹群，熊继军，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：新型
国别省市：山西;14
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