三维曲面微结构的批量热成型微加工方法技术

本发明专利技术涉及一种三维曲面微结构的批量热成型微加工方法，首先在衬底圆片上形成凹槽；再将热释气剂加入硅酸钠的水溶液中，并搅拌均匀后，取适量加入上述凹槽内，再蒸发去除水分；然后将可热成型圆片与上述衬底圆片在真空或一定压力下粘结，使得凹槽密封；再将上述粘结后的可热成型圆片和衬底圆片加热至可热成型圆片的软化温度以上并保温，待凹槽中热释气剂放出的气体产生正压力使得密封腔体对应的可热成型圆片的对应部分热成型形成三维曲面微结构后，再冷却，退火；最后去除衬底圆片。本发明专利技术热释气剂混合液由于含有硅酸钠而具有可调的黏度，适合于用工业点胶机进行精确、微量体积的转移，还不会产生粉末污染，有利于批量生产。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种三维曲面微结构的批量热成型微加工方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，在衬底圆片（1）上形成凹槽（2）；第二步，将热释气剂加入硅酸钠的水溶液中，并搅拌均匀后，取适量加入上述凹槽（2）内，再蒸发去除水分；第三步，将可热成型圆片（5）与上述衬底圆片（1）在真空或一定压力下粘结，使得凹槽（2）密封；第四步，将上述粘结后的可热成型圆片(5)和衬底圆片(1)加热至可热成型圆片(5)的软化温度以上并保温，待凹槽(2)中热释气剂放出的气体产生正压力使得密封腔体对应的可热成型圆片(5)的对应部分热成型形成三维曲面微结构后，再冷却，退火；第五步，去除衬底圆片（1），得到三维曲面微结构（6）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：尚金堂，吉宇，邹羽，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：