一种液相沉积二氧化锡的方法技术

技术编号:8955037 阅读:206 留言:0更新日期:2013-07-24 20:46
本发明专利技术公开一种液相沉积二氧化锡的方法,包括:以氟化亚锡的水溶液为原料,加入包含过氧化钙的添加剂,在基底的亲水性表面沉积二氧化锡;其中,所述添加剂同时作为氧化剂和氟离子捕获剂。过氧化钙的加入,使氟化亚锡的水解反应加速且可控,并且减少了氟离子的排放。本发明专利技术提供的方法适用于快速、绿色地制备二氧化锡薄膜以及各种形貌的二氧化锡微米纳米结构。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及无机材料制备领域,特别涉及。
技术介绍
液相沉积法是一种重要的制备氧化物薄膜的方法。液相沉积法使用的原料为金属氟化物的水溶液。在酸性条件下,金属氟化物缓慢水解,在放置于溶液中的亲水性基底的表面直接生长出相应的金属氧化物薄膜。通过向沉积溶液中添加硼酸溶液或者金属铝作为水解产物之一的氟离子的消耗剂,可以使金属氟化物的水解反应持续进行。目前,液相沉积法已经被成功地应用于Si02、Ti02、SnO2以及Fe、V、Mn、Nb、Zr、N1、Ta等金属的氧化物薄膜的制备。除此之外,通过调节沉积溶液的组成,还可以制备出复合氧化物薄膜以及有机-无机复合薄膜。SnO2 (二氧化锡)由于其较大的禁带宽度和较多的氧空位缺陷,十分适合作为半导体传感器材料以及透明导电材料。SnO2薄膜现在已经被广泛应用于气敏传感器、湿敏传感器、太阳能电池、显示器等重要领域。因此,使用液相沉积这种成本低廉、操作方便的方法制备SnO2是非常有实际意义的。目前已报道的制备SnO2材料的液相沉积法主要有三种:1、直接用SnF2 (氟化亚锡)的水溶液作为沉积液(参见Liquid phase depositionfilm 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液相沉积二氧化锡的方法,其特征在于,包括:以氟化亚锡的水溶液为原料,加入包含过氧化钙的添加剂,在基底的亲水性表面沉积二氧化锡;其中,所述添加剂同时作为氧化剂和氟离子捕获剂。

【技术特征摘要】
1.一种液相沉积二氧化锡的方法,其特征在于,包括: 以氟化亚锡的水溶液为原料,加入包含过氧化钙的添加剂,在基底的亲水性表面沉积二氧化锡;其中,所述添加剂同时作为氧化剂和氟离子捕获剂。2.如权利要求1所述的方法,其特征在于, 所述氟化亚锡的水溶液的浓度为0.05 2mol/L。3.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:孟庆波肖俊彦李冬梅罗艳红
申请(专利权)人:中国科学院物理研究所
类型:发明
国别省市:

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