微机械结构和用于制造微机械结构的方法技术

本发明专利技术涉及一种微机械结构，具有一包括主延伸平面的衬底和一相对于衬底可运动的质量块，其中，可运动的质量块通过至少一个耦合弹簧弹簧弹性地悬挂，其中可运动的质量块的一个第一部分区域沿着一相对于主延伸平面基本上垂直的竖直方向至少部分地布置在衬底和耦合弹簧之间。

【技术实现步骤摘要】
微机械结构和用于制造微机械结构的方法
本专利技术涉及一种微机械结构。
技术介绍
这样的结构通常是公知的。例如由文献DE19719779A1已知一种具有一通过悬挂弹簧可运动地悬挂在衬底上的感振质量的加速度传感器。在加速度传感器加速时，在感振质量上作用惯性力，惯性力使得感振质量相对于衬底偏移。偏移的程度借助检测装置测量。检测装置包括一由相对衬底固定的固定电极和固定在感振质量上的配对电极组成的梳形电极结构。为了测量该偏移，对固定电极和配对电极之间的电容量的变化进行分析处理。感振质量、悬挂弹簧和配对电极在这样的结构中构造在一个唯一的多晶硅功能层(在下面被称为第一功能层)中，使得这些结构始终相互并排地布置。一个由薄多晶硅制成的带状导线层用于电接触，该带状导线层构造在衬底和感振质量之间并且通过绝缘氧化物与衬底晶片分开。为了制造微机械结构，在文献DE102007060878A1中还建议，使用一个另外的多晶硅功能层(在下面称为第二功能层)。文献DE102009000167A1例如公开了一种加速度传感器，它借助两个分开的功能层构成，而由文献DE102009000345A1公开了一种用于测量转速的具有科本文档来自技高网...

【技术保护点】
微机械结构（1），具有一包括主延伸平面（100）的衬底（2）和一相对于衬底（2）可运动的质量块（3，14，70），其中，可运动的质量块（3）通过至少一个耦合弹簧（4，50）弹簧弹性地悬挂，其特征在于，可运动的质量块（3）的至少一个第一部分区域（5，60）沿着一相对于主延伸平面（100）基本上垂直的竖直方向（101）至少部分地布置在衬底（2）和耦合弹簧（4，50）之间。

【技术特征摘要】
2012.01.23 DE 102012200929.91.微机械结构(1)，具有一包括主延伸平面(100)的衬底(2)和一相对于衬底(2)可运动的质量块(3，14，70)，其中，可运动的质量块(3)通过至少一个耦合弹簧(4，50)弹性地悬挂，其中，可运动的质量块(3)的至少一个第一部分区域(5，60)沿着一相对于主延伸平面(100)基本上垂直的竖直方向(101)至少部分地布置在衬底(2)和耦合弹簧(4，50)之间，其特征在于，所述微机械结构(1)具有一第一功能层(10)和一第二功能层(20)，其中，该第一和第二功能层(10，20)沿着竖直方向(101)这样地相互错开，使得第一功能层(10)沿着竖直方向(101)布置在衬底(2)和第二功能层(20)之间，其中，第一部分区域(5，60)在第一功能层(10)中构成并且耦合弹簧(4，50)在第二功能层(20)中构成。2.根据权利要求1的微机械结构(1)，其特征在于，可运动的质量块(3)的第二部分区域(6，61)在第二功能层(20)中构成并且耦合弹簧(4，50)直接作用在第二部分区域(6，61)上。3.根据权利要求2的微机械结构(1)，其特征在于，第一部分区域(5，60)和第二部分区域(6)在一重叠区域(7)中沿着竖直方向(101)相互地重叠并且第一和第二功能层(10，20)在重叠区域(7)中直接相互固定地连接或者间接地通过一中间层(30)相互固定地连接。4.根据权利要求1至3之一的微机械结构(1)，其特征在于，所述微机械结构(1)具有固定电极(8，8’)，这些固定电极平行于主延伸平面(100)延伸并且沿着竖直方向(101)布置在第一部分区域(5，60)和衬底(2)之间，其中，这些固定电极(8，8’)和第一部分区域(5，60)形成一板式电容器结构。5.根据权利要求1至3之一的微机械结构(1)，其特征在于，所述微机械结构(1)具有至少一个与衬底(2)连接并且构造在第二功能层(20)中的止挡弹簧(21)，其中，可运动的质量块(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·克拉森，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：