【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
红外?太赫兹双波段阵列探测器微桥结构,其特征在于,包括衬底(10)、驱动电路(20)、牺牲层(30),所述驱动电路设置在衬底(10)上,该驱动电路(20)设有电路接口(21);所述牺牲层(30)制备在该带有驱动电路的衬底上,在驱动电路上由下而上依次制备有缓冲层(40)、支撑层(50)、顶部电极(60),该顶部电极与所述电路接口连接;在该顶部电极和支撑层上由下而上依次制备有下层氧化钒薄膜和上层氧化钒薄膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:苟君,蒋亚东,张化福,王军,黎威志,
申请(专利权)人:电子科技大学,
类型:发明
国别省市:
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