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本发明涉及一种微机械结构，具有一包括主延伸平面的衬底和一相对于衬底可运动的质量块，其中，可运动的质量块通过至少一个耦合弹簧弹簧弹性地悬挂，其中可运动的质量块的一个第一部分区域沿着一相对于主延伸平面基本上垂直的竖直方向至少部分地布置在衬底和耦...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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