【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气相沉积技术，尤其是对金属有机化学气相沉积设备的尾气回收系统结构。
技术介绍
半导体照明是一个飞速发展的产业。在这个产业中，生产型金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统是生产半导体照明用发光二级管(LED)必需的关键设备。产业大发展促使MOCVD的数量迅速增加。目前，我国拥有的MOCVD设备已经超过500台。生产蓝光、绿光LED用的MOCVD设备会产生含有氨气(NH3)、氮气(N2)和氢气(H2)的大量尾气，MOCVD的尾气处理是一个亟待解决的问题。 随着环境保护的要求和意识的提高，原有的水洗式尾气处理设备因为达不到排放指标，已经基本被淘汰。新的尾气处理设备是采用等离子体燃烧的技术，通过燃烧的方法把IIIa族氮化物用的MOCVD所产生的含大量NH3的尾气转化成水、N2等无污染的气体进行排放。这种燃烧式尾气处理器虽然在一定程度上解决了水洗式处理器的问题，但是它把大量的高纯NH3、H2、N2等都作为废气进行燃烧，不仅在燃烧处理过程中要消耗大量的电力，还造成了浪费，因为高纯NH3、H2、N2等气体，尤其是高纯NH3的价格很高。在MOCVD设备中的NH3实...
【技术保护点】
一种换热器，其特征在于，包括：尾气通道，所述尾气通道由若干条具有共同入口和出口的第一支管构成；填充有吸热流体的吸热通道，所述吸热通道包括与所述第一支管数量相当的第二支管，所述第一支管嵌套于所述第二支管内，用于所述吸热流体与尾气进行热交换。
【技术特征摘要】
1.一种换热器,其特征在于,包括: 尾气通道，所述尾气通道由若干条具有共同入口和出口的第一支管构成； 填充有吸热流体的吸热通道，所述吸热通道包括与所述第一支管数量相当的第二支管，所述第一支管嵌套于所述第二支管内，用于所述吸热流体与尾气进行热交换。2.根据权利要求1所述换热器，其特征在于，所述第二支管的横截面与所述第一支管的横截面为同心圆。3.根据权利要求1所述换热器，其特征在于，还包括完全包覆于所述吸热通道外的保温通道，所述保温通道填充有保温流体。4.根据权利要求1所述换热器，其特征在于，所述尾气通道内的尾气流动方向与所述吸热通道内的吸热流体流动方向相逆。5.一种尾气回收系统，用于处理金属有机化学气相沉积设备经其尾气管所排出的尾气，其特征在于，包括与所述尾气管连接的第一换热组，所述第一换热组由多个第一换热器串联组成；每个第一换热器设有配套的流体收集罐；所述第一换热器包括: 用于尾气输送的尾气通道，所述尾气通道由若干条具有共同入口和出口的第一支管构成；所述出口一方面用于与所述入口配合使两相邻尾气通道形成首尾相接并输送尾气，另一方面用于与所述流体收集罐连接，用于输送和收集尾气液化后的流体； 容纳有吸热流体的吸热通道，其包括与所述第一支管数量相当的第二支管，所述第一支管嵌套于所述第二支管内，用于所述尾气及吸热流体之间的热传递。6.根据权利要求5所述的尾气回收系统，其特征在于，所述第二支管的横截面与所述第一支管的横截面为同心圆。7.根据权利要求5或6所述的尾气回收系统，其特征在于，所述尾气的流动方向与所述吸热流体的流动方向相逆。8.根据权利要求5或6所述的尾气回收系统，其特征在于，所述吸热通道包括用于吸热流体流通的入口和出口，所述入口一方面用于与所述出口配合使两相邻吸热通道之间形成首尾相接，另一方面用于与吸热流体输出管连接，进行吸热流体的补给。9.根据权利要求5所述的尾气回收系统，其特征在于，所述第一换热器还包括包覆于所述吸热通道和尾气通道外的保温通道；保温通道还包括入口和出口，用于两相邻的保温通道之间形成首尾相接以及保温流体的流通。10.根据权利要求9所...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱建军，周礼誉，张永红，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：
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