【技术实现步骤摘要】
一种改进型扩散设备的石英炉门
[0001 ] 本技术涉及一种检验台，尤其是涉及一种改进型扩散设备的石英炉门。
技术介绍
扩散设备用的石英炉门是一种圆盖形的石英制品，其熔点:1740°C，莫氏硬度:7，堆密度:2.2g/cm3石英炉门的特性为:1.耐高温2.耐腐蚀3.热稳定性好4.透光性能好5.电绝缘性能好。在正常工艺时，石英炉门与石英炉管紧密贴合，使石英炉管保持在一定的管压下正常工作，也保证了有毒气体不会泄露。在平时日常保养中发现部分机台的炉门出现小幅松动现象(但不会掉落)，这主要是由于固定炉门的U型固定支架上的高温编织绳与石英炉门的固定把手的外横截面接触，再有机台运作时，炉门时常做开启、关闭动作，受力的作用致使高温编织绳断裂，造成石英炉门有小幅松动现象。这样会对机台炉管的密封性产生影响，也直接造成硅片的方阻值异堂巾O
技术实现思路
本技术的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种密封性好、损耗低的改进型扩散设备的石英炉门。本技术的目的可以通过以下技术方案来实现:一种改进型扩散设备的石英炉门，包括炉门，U型固定支架，高温编织绳，其特征在于，还包括隔热垫圈，该隔热垫圈设置在炉门上，炉门上设有固定把手，所述的U型固定支架与炉门把手贴合，所述的高温编织绳设置在U型固定支架与炉门的固定把手之间。所述的炉门为密封石英门。所述的隔热垫圈上设有凹槽，作为U型固定支架的固定部件。所述的U型固定支架为钢质材料，U型固定支架嵌入隔热垫圈的凹槽内。所述的高温编织绳为石英棉材料。所述的固定把手的尺寸为202 土 1mm。本技术的改进是将石英炉门固定把手的长度尺寸从原有...
【技术保护点】
一种改进型扩散设备的石英炉门，包括炉门，U型固定支架，高温编织绳，其特征在于，还包括隔热垫圈，该隔热垫圈设置在炉门上，炉门上设有固定把手，所述的U型固定支架与炉门把手贴合，所述的高温编织绳设置在U型固定支架与炉门的固定把手之间；所述的固定把手的长度尺寸为202±1mm。
【技术特征摘要】
1.一种改进型扩散设备的石英炉门，包括炉门，U型固定支架，高温编织绳，其特征在于，还包括隔热垫圈，该隔热垫圈设置在炉门上，炉门上设有固定把手，所述的U型固定支架与炉门把手贴合，所述的高温编织绳设置在U型固定支架与炉门的固定把手之间； 所述的固定把手的长度尺寸为202±lmm。2.根据权利要求1所述的一种改进型扩散设备的石英炉门，其特征在于，所述的炉门为...
【专利技术属性】
技术研发人员：张永林，还武兵，
申请(专利权)人：上海神舟新能源发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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