【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种晶圆研磨环专用研磨加工机，其特征在于包括：一工作台，作Ｘ轴向及Ｙ轴向的位移调整；一研磨轮，组设于工作台上方作Ｚ轴向的位移调整；一工件旋动装置，设于工作台上，该工件旋动装置包括有组装部组设定位于工作台上，工件旋动装 置的顶端则具有一旋转盘，该旋转盘设有工件定位部。
【技术特征摘要】
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