温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种晶圆研磨环专用研磨加工机。包括一工作台，作Ｘ轴向及Ｙ轴向的位移调整；一研磨轮，组设于工作台上方预定处作Ｚ轴向的位移调整；一工件旋动装置，设于工作台上，其包括有组装部组设定位于工作台上，工件旋动装置顶端具一旋转盘，该旋转盘...
该专利属于蔡宝珠所有，仅供学习研究参考，未经过蔡宝珠授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。