表面处理用具制造技术

本实用新型专利技术一种表面处理用具，该用具的其中一表面上具有数凸体。制造该凸体的材料包括诸如聚氨酯（Ｐｏｌｙｕｒｅｔｈａｎｅ）、合成树脂（Ｒｅｓｉｎ）、塑胶（Ｐｌａｓｔｉｃ）、丙烯酸（Ａｃｒｙｌｉｃ）等。利用该等凸体增进该用具的表面处理效果。从而，增进了该片垫的表面磨擦力以及异物携除、吸收能力，并可达到减少物品表面因处理程序而产生的刮痕数量及深度。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及物品表面加工工具，特别是对物体表面研磨、抛光、清洁或类似加工的表面处理用具。
技术介绍
与本技术有关的先前
，包含诸如但不限于的半导体产业、玻璃基板产业、各式光滑面板产业或类似领域。在该等领域中用来处理物品表面例如研磨、抛光、清洁或类似加工的用具大多数使用一种片垫，该片垫被控制而与待处理物表面接触，通过相互的移动产生磨擦作用而达到表面处理的预期效果。该片垫以具有软弹性、吸收性、不产生脱落微屑等特征的材料制成，例如聚胺酯(Polyurethane)、动物皮料等。而为增进该等材料表面处理效能，目前已知的习知技术，大致上于该片垫10的表面加工形成粗糙面11(如图1)，或形成数孔洞、凹槽等类似凹陷结构12。图1所表示的粗糙面可增加该片垫表面的磨擦力，但该等粗糙面并不能增进片垫的吸收效能。因此，在表面处理的程序中，若于片垫上或待处理表面上加有表面处理剂(polishing fluid)，该等片垫无法将之有效的吸收。该粗糙面需利用反复的、多次的磨擦来磨掉待处理表面上的异物，换言之，该等粗糙面对于待处理表面上的异物并无法产生较佳的铲除效果。而表面处理过程中所产生的细微异物会大量地本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面处理用具，其特征在于：该用具包括一片垫（２３），其中一表面上具有数凸体（２０）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱海怒，
申请(专利权)人：兴亿达有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]