层叠体、带有支撑板的显示装置用面板、显示装置用面板以及显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种层叠体，其依次具备：支撑板、树脂层以及带有导电性金属氧化物膜的基板，在该基板的表面上具有导电性金属氧化物膜，所述导电性金属氧化物膜包含选自由铟、锡、锌、钛以及镓组成的组中的至少一种金属的氧化物，前述带有导电性金属氧化物膜的基板以前述导电性金属氧化物膜与前述树脂层能够剥离地紧密贴合的方式配置在前述树脂层上，前述树脂层与前述支撑板之间的剥离强度高于前述树脂层与前述带有导电性金属氧化物膜的基板之间的剥离强度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及层叠体、带有支撑板的显示装置用面板、显示装置用面板以及显示装置。
技术介绍
近年来，太阳能电池(PV)、液晶显示器(IXD)、有机EL显示器(OLED)等设备(电子设备)正在进行薄型化、轻量化，这些设备中使用的基板也在进行薄板化。若因薄板化而导致基板的强度不足，则在设备的制造工序中，基板的操作性会降低。因此，一直以来广泛采用以下方法:在比最终厚度更厚的基板上形成设备用部件(例如，薄膜晶体管)后，通过化学蚀刻处理而使基板薄板化。然而，在该方法中，例如，在将I张基板的厚度从0.7mm薄板化至0.2mm、0.1mm的情况下,原基板的材料的多半会被蚀刻液削去，因此从生产率、原材料的使用效率这样的观点出发是不优选的。另外，在上述基于化学蚀刻的基板的薄板化方法中，基板表面存在微细的伤痕时，有时会因蚀刻处理而以伤痕为起点形成微细的凹坑(蚀刻坑，etch pit)，从而成为光学缺陷。最近，为了应对上述问题而提出了以下方法:准备层叠有基板和增强板的层叠体，在层叠体的基板上形成设备用部件后，从基板剥离增强板(例如，参照专利文献I)。增强板具有玻璃板和固定在该玻璃板上的树脂层，树脂层和基板以能够剥离的方式紧密贴合。增强板从基板被剥离后，能够与新的基板层叠并作为层叠体而再利用。现有技术文献专利文献专利文献1:国际公开第07/018028号
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，对于上述现有的构成的层叠体而言，将增强板从基板剥离时，有时树脂层的一部分会附着于作为制品侧的基板。尤其是在高温条件下对层叠体进行加热处理后，频繁地发生树脂层的一部分附着于作为制品侧的基板的情况。可以认为这是由于高温条件下树脂层劣化或者树脂层与基板的紧密贴合强度上升的缘故。因此，在施加高温处理的设备制造中应用上述层叠体时，树脂层的一部分会附着于基板，结果有可能导致成品率的降低。进而，将基板从上述层叠体剥离后，杂质、灰尘等容易附着于基板表面，若使用这样的基板制造设备，则有设备产生故障等的担心。可以认为，这样的杂质、灰尘的附着是由于剥离带电而产生的。本专利技术是鉴于上述课题而进行的，其目的在于，提供一种层叠体，该层叠体即使在施加了高温加热处理之后，也能够抑制在剥离树脂层和基板时树脂层的一部分附着于作为制品侧的基板、且能够抑制被剥离的基板表面上的剥离带电。进而，本专利技术的目的在于，提供包含该层叠体的带有支撑板的显示装置用面板、使用带有支撑板的显示装置用面板形成的显示装置用面板以及显示装置。用于解决问题的方案本专利技术人为了解决上述问题而反复进行了深入研究，从而完成了本专利技术。S卩，为了实现上述目的，本专利技术的第一方式为一种层叠体，其依次具备:支撑板、树脂层以及带有导电性金属氧化物膜的基板，在该基板的表面上具有导电性金属氧化物膜，所述导电性金属氧化物膜包含选自由铟、锡、锌、钛以及镓组成的组中的至少一种金属的氧化物，前述带有导电性金属氧化物膜的基板以前述导电性金属氧化物膜与前述树脂层能够剥离地紧密贴合的方式配置在前述树脂层上，前述树脂层与前述支撑板之间的剥离强度高于前述树脂层与前述带有导电性金属氧化物膜的基板之间的剥离强度。第一方式中，前述氧化物中优选还包含选自由铝、钥、铜、钒、铌、钽、硼以及氟组成的组中的至少一种元素。另外，第一方式中，前述树脂层优选为有机硅树脂层。另外，前述树脂层优选由有机烯基聚硅氧烷和有机氢聚硅氧烷的加成反应型固化物形成。进而，前述有机氢聚娃氧烧的键合于娃原子的氢原子相对于前述有机烯基聚娃氧烷的烯基的摩尔比优选为0.5 2。本专利技术的第二方式是一种带有支撑板的显示装置用面板，其具有:第一方式的层叠体、以及显示装置用面板的构成部件，其中，所述构成部件设置于前述层叠体中的前述带有导电性金属氧化物膜的基板的、与前述树脂层紧密贴合的表面的相反侧的表面上。本专利技术的第三方式是一种显示装置用面板，其是使用第二方式的带有支撑板的显示装置用面板而形成的。本专利技术的第四方式是一种显示装置，其具有第三方式的显示装置用面板。专利技术的效果根据本专利技术，能够提供一种层叠体，该层叠体即使在施加了高温加热处理之后，也能够抑制在剥离树脂层和基板时树脂层的一部分附着于作为制品侧的基板、且能够抑制被剥离的基板表面上的剥离带电。进而，根据本专利技术，能够提供包含该层叠体的带有支撑板的显示装置用面板、使用带有支撑板的显示装置用面板形成的显示装置用面板以及显示装置。附图说明图1是本专利技术所述的层叠体的一个实施方式的示意性剖面图。图2是本专利技术所述的带有支撑板的显示装置用面板的一个实施方式的示意性剖面图。具体实施例方式以下，参照附图对用于实施本专利技术的方式进行说明，但本专利技术不限定于以下的实施方式，可以在不脱离本专利技术的范围的情况下对以下的实施方式施加各种变形和置换。需要说明的是，本专利技术中，将树脂层固定于支撑板是指:使树脂层与支撑板以它们之间的剥离强度高于树脂层与带有导电性金属氧化物膜的基板之间的剥离强度的方式进行结合。图1是本专利技术的层叠体的一例的示意性剖面图。如图1所示那样，层叠体10是存在带有导电性金属氧化物膜的基板24、支撑板31以及位于它们之间的树脂层32的层叠体。带有导电性金属氧化物膜的基板24具备基板20和设置在基板20的表面上的导电性金属氧化物膜22。带有导电性金属氧化物膜的基板24以导电性金属氧化物膜22与树脂层32能够剥离地紧密贴合的方式设置在树脂层32上。另外，树脂层32固定在支撑板31上，并且以能够剥离的方式紧密贴合于带有导电性金属氧化物膜的基板24的导电性金属氧化物膜22。由支撑板31和树脂层32形成的增强板30在制造液晶显示器等设备(电子设备)的工序中，对带有导电性金属氧化物膜的基板24进行增强。使用该层叠体10直至设备的制造工序的过程中为止。即，使用该层叠体10直至在带有导电性金属氧化物膜的基板24的、与树脂层32为相反侧的表面上形成薄膜晶体管等设备用部件为止。其后，增强板30从带有导电性金属氧化物膜的基板24剥离，不会成为构成设备的部件。从带有导电性金属氧化物膜的基板24剥离的增强板30可以与新的带有导电性金属氧化物膜的基板24层叠并作为层叠体10再利用。本专利技术中发现:通过将带有导电性金属氧化物膜的基板24以导电性金属氧化物膜22与树脂层32接触的方式设置在树脂层32上，可以得到所希望的效果。以下，针对各构成(带有导电性金属氧化物膜的基板、支撑板、树脂层)进行详细说明。<带有导电性金属氧化物膜的基板>首先，针对带有导电性金属氧化物膜的基板24进行说明。带有导电性金属氧化物膜的基板24具备基板20和设置在基板20的表面上的导电性金属氧化物膜22。导电性金属氧化物膜22以与后述的树脂层32能够剥离地紧密贴合的方式配置在带有导电性金属氧化物膜的基板24中的最表面上。以下，针对基板20和导电性金属氧化物膜22进行详细说明。(基板)基板20在树脂层32侧的第I主面201具备导电性金属氧化物膜22，在与树脂层32为相反侧的第2主面202形成有设备用部件，从而构成设备。此处，设备用部件是指如后述的显示装置用面板的构成部件那样地构成设备的至少一部分的部件。作为具体例子，可列举出薄膜晶体管(TFT)、彩色滤光片(CF)。作为设备，可例示出太阳能电池(PV)、液晶显示器(IXD)、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：江畑研一，松山祥孝，内田大辅，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：
国别省市：