【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及精密光学扫描器械领域，具体涉及。
技术介绍
光学扫描机构是先进激光加工领域的伺服执行机构，是激光投影的关键部件之 一。近年来，少自由度并联机构，尤其是三自由度并联机构，如3RPS型并联机构，在光学扫描领域内越来越受到研究者的重视和青睐。现有的基于并联机构的光学扫描角度调整平台，通过三个驱动器同时驱动联接在动平台和基座之间的三条运动支链，从而实现动平台三个转动自由度方向运动，或者是两个转动自由度和一个附加的平动自由度运动。然而，通常情况下，光学扫描机构仅需两个转动自由度，多余的自由度会增加运动学分析的难度，使得系统结构和控制更加复杂。其次，如果运动支链结构过于复杂，加工和装配等环节就可能会导致较大的系统误差。目前大多数光学扫描机构都采用的串联结构形式(常平架形式)，这种技术已经很成熟，但由于自身的结构特点(俯仰轴的所有质量完全置于方位轴上，使得动质量相对较大)，无法实现高速扫描运动。还有一种由两组单轴组合而成的平台系统，主要应用于激光投影或者增量制造技术(3D打印机)，因为其动质量几乎只有反射镜，惯量很小所以动态性能很好，具有很高的带宽，但由于采...
【技术保护点】
一种两自由度高速并联扫描平台，其特征在于，包括机壳和安装于机壳内的直线驱动机构、反射镜轴机构、反射镜活动框架和PSD位置传感器；所述反射镜轴机构包括主轴、反射镜、反射镜支架、调平螺钉和激光发射器，所述主轴为一端直径较大一端直径较小的阶梯轴，其轴心处具有一轴向的通孔，所述反射镜固定于反射镜支架上，反射镜支架通过多个调平螺钉固定于主轴大轴端的端面，所述激光发射器固定于主轴轴心处的通孔内，其激光发射方向沿主轴的轴心穿过通孔，指向主轴的小轴端；所述反射镜活动框架包括内框和外框，所述主轴的大轴端绕第一轴线旋转连接于内框中部，所述内框绕第二轴线旋转连接于外框中部，所述外框固定于机壳上；...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李凯格，张弓，陈贤帅，王映品，周雪峰，梁济民，孙克争，
申请(专利权)人：广州中国科学院先进技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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