一种MEMS结构的扫描标准具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种MEMS结构的扫描标准具，其包括光纤、微透镜、光电二极管或接受光纤，所述的光纤光输出端面设有反射膜，光输出端设有微型凸透镜，所述的微型凸透镜和微透镜之间设有MEMS活动片，所述的光纤与MEMS活动片构成共焦腔扫描标准具，扫描标准具的焦点在MEMS活动片端面上。本实用新型专利技术通过在光纤光输出端面设有反射膜，光输出端设有微型凸透镜，并在微型凸透镜与微透镜之间设有MEMS活动片，从而使光纤与MEMS活动片构成共焦腔扫描标准具，扫描标准具的焦点在MEMS活动片端面上，本实用新型专利技术结构简单，微型凸透镜采用气溶胶成型，表层设有氩层，将气溶胶技术应用到扫描标准具中，成型简单，与光纤良好的结合。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光学领域，特别涉及一种MEMS结构的扫描标准具。
技术介绍
标准具作为重要光学元件广泛用于通讯，光学测量领域。常规的标准具有二种，一是空气隙标准具，该空气隙标准具腔为空气隙或真空，由于标准隔圈采用温度不敏感光学材料制作，所以温度稳定性较高；二是直接在光学材料平行平片两面镀膜形成标准具，该标准具的特点是成本低，但光学材料通常温度变化引起膨胀和折射率变化，所以温度性能较差。还有一种活动标准具，即标准具腔长可以变化，该标准具的一个腔可以移动，其移动式通常采用电压陶瓷(PZT)或MEMS (Micro Electro Mechanical System,微机电系统)，该标准具移动量较小，精度要求高，成本也高；标准腔长可以变化的还有采用实心标准具或空气标准具温控来改变腔长，其特点是变化量小，而且时间长；而采用一个薄片通过转动方式改变腔长，通常是采用超薄片，其改变是较小的，而且亦不易控制。由于标准具是对光学反射面平行度要求极高的光学元件。实际较大范围动态变化是十分困难的。
技术实现思路
本技术的目的是为了提供结构简单，能够形成共焦腔的一种MEMS结构的扫描标准具。为了实现上述目的，本技术如下技术方案:该一种MEMS结构的扫描标准具,其包括光纤、微透镜、光电二极管或接受光纤,所述的光纤光输出端面设有反射膜，光输出端设有微型凸透镜，所述的微型凸透镜和微透镜之间设有MEMS活动片，所述的光纤与MEMS活动片构成共焦腔扫描标准具，扫描标准具的焦点在MEMS活动片端面上。所述的微型凸透镜为气溶胶成型，表层设有氩层。所述的微型凸透镜与MEMS活动片间距5-50 μ m。所述的光纤为TEC光纤。本技术采用以上技术方案:通过在光纤光输出端面设有反射膜，光输出端设有微型凸透镜，并在微型凸透镜与微透镜之间设有MEMS活动片，从而使光纤与MEMS活动片构成共焦腔扫描标准具，扫描标准具的焦点在MEMS活动片端面上，本技术结构简单，微型凸透镜采用气溶胶成型，表层设有氩层，将气溶胶技术应用到扫描标准具中，成型简单，与光纤良好的结合。以下结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明:附图说明图1为本技术微型的结构示意图。具体实施方式根据图1对本技术作详细描述。本技术包括光纤1，微透镜2、光电二极管或接受光纤3，光纤I光输出端面设有反射膜11，光输出端设有微型凸透镜12，微型凸透镜12为气溶胶成型，表层设有氩层，所述的微型凸透镜12和微透镜2之间设有MEMS活动片4，微型凸透镜12与MEMS活动片4间距5_50 μ m,光纤I与MEMS活动片4构成共焦腔扫描标准具，扫描标准具的焦点在MEMS活动片4端面上。所述的光纤I为TEC光纤。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS结构的扫描标准具，其包括光纤、微透镜、光电二极管或接受光纤，其特征在于：所述的光纤光输出端面设有反射膜，光输出端设有微型凸透镜，所述的微型凸透镜和微透镜之间设有MEMS活动片，所述的光纤与MEMS活动片构成共焦腔扫描标准具，扫描标准具的焦点在MEMS活动片端面上。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS结构的扫描标准具，其包括光纤、微透镜、光电二极管或接受光纤，其特征在于:所述的光纤光输出端面设有反射膜，光输出端设有微型凸透镜，所述的微型凸透镜和微透镜之间设有MEMS活动片，所述的光纤与MEMS活动片构成共焦腔扫描标准具，扫描标准具的焦点在MEMS活动片端面上。2.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴砺，贺坤，刘国宏，
申请(专利权)人：福州高意通讯有限公司，
类型：实用新型
国别省市：