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本实用新型涉及一种MEMS结构的扫描标准具，其包括光纤、微透镜、光电二极管或接受光纤，所述的光纤光输出端面设有反射膜，光输出端设有微型凸透镜，所述的微型凸透镜和微透镜之间设有MEMS活动片，所述的光纤与MEMS活动片构成共焦腔扫描标准具，扫...
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