振动反射镜器件制造技术

本发明专利技术提供一种能够容易地制造的具有用于检测驱动的检测用电极的振动反射镜器件。该振动反射镜器件（100）具有反射镜部（1）和用于驱动反射镜部的驱动部（4、5）；上述驱动部配置有用于通过被施加电压来使驱动部变形并驱动的驱动用电极（44、54）和用于检测驱动部的变形量的检测用电极（45、55）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及振动反射镜器件，特别涉及具有用于检测变形量的检测用电极的振动反射镜器件。
技术介绍
以往，已知具有用于检测变形量的检测用电极的振动反射镜器件。例如，在日本特开2009 — 229517号公报中公开了这样的振动反射镜器件。在上述日本特开2009 — 229517号公报中公开了ー种促动器(actuator)(振动反射镜器件)，该促动器包括:可摆动的反射镜；驱动电极，其借助静电カ以非接触状态使反射镜摆动；扭杆(torsion bar)，其与反射镜的端部相连接，井随着驱动电扱使反射镜摆动而扭曲变形；角度检测传感器。在该日本特开2009 — 229517号公报中所述的促动器中，利用角度检测传感器检测扭杆的由扭曲变形产生的变形量，并根据上述变形量获得反射镜的偏转角。角度检测传感器包括:压敏电阻，其以一体方式形成在扭杆的表面；一对电压测量片(检测用电极)，用于检测压敏电阻所产生的电压；一对偏置电流片，用于向压敏电阻供给偏置电流。此外，驱动电极以俯视时与反射镜的一部分重叠的状态形成在反射镜的下方。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2009 — 229517号公报
技术实现思路
所要解决的问题然而，在日本特开2009 — 229517号公报所述的促动器中，由于驱动电极与反射镜的一部分重叠，因此在制造促动器的エ序中，需要分开进行以一体方式在扭杆的表面形成角度检测传感器的压敏电阻等的制造エ序和形成驱动电极的制造エ序。本专利技术是为了解决上述问题而提出的，本专利技术的ー个目的在于，提供ー种能够容易地制造具有用于检测驱动的检测用电极的振动反射镜器件。用于解决问题的手段及专利技术的效果本专利技术的一个方案的振动反射镜器件具有反射镜部和用于驱动反射镜部的驱动部；驱动部配置有用于通过被施加电压来使驱动部变形并驱动的驱动用电极和用于检测驱动部的变形量的检测用电极。如上所述，在本专利技术的一个方案的振动反射镜器件中，通过在驱动部配置驱动用电极和检测用电极，可以用相同的制造エ序形成驱动用电极和检测用电极。由此，不需要用不同的制造エ序形成驱动用电极和检测用电极，从而可以容易地制造具有用于检测驱动部的驱动的检测用电极的振动反射镜器件。优选地，在上述一个方案的振动反射镜器件中，检测用电极沿着驱动用电极的长度方向延伸。若这样构成，则能够利用检测用电极容易地检测沿着驱动用电极的长度方向的驱动部的变形。在这种情况下，优选地，检测用电极在长度方向上的长度为驱动用电极在长度方向上的长度的一半以上。若这样构成，则能够使检测用电极以能够准确地检测驱动部的变形量的大小形成，因此能够准确地检测驱动部的变形量。此外，即使将检测用电极在长度方向上的长度设为驱动用电极在长度方向上的长度的一半，也能够准确地检测驱动部的变形量，这一点是本申请的专利技术人认真检查的结果及所观察出来的结构。在上述检测用电极沿着驱动用电极的长度方向上延伸的振动反射镜器件中，优选地，检测用电极在长度方向上的长度比驱动用电极在长度方向上的长度小。若这样构成，则能够抑制驱动部的检测用电极所占的比例变大，从而能够抑制因驱动部的驱动用电极所占的比例变小而引起驱动部的驱动カ变小。在上述一个方案的振动反射镜器件中，优选地，驱动用电极和检测用电极以相互绝缘的状态被配置。若这样构成，则能够抑制发生因驱动用电极与检测用电极突然发生短路等而造成无法利用检测用电极准确地检测驱动部的变形量的情況。在上述一个方案的振动反射镜器件中，优选地，检测用电极随着驱动部的变形而变形。若这样构成，则能够在不妨碍驱动部的变形的情况下，借助随着驱动部的变形而变形的检测用电极准确地检测驱动部的变形。在上述一个方案的振动反射镜器件中，优选地，检测用电极配置在驱动部的与反射镜部相反ー侧的ー侧面附近。若这样构成，则能够经由与反射镜部相反一侧的ー侧面附近容易地连接检测用电极与外部的端子。在这种情况下，优选地:驱动部在上述一侧面沿着上述驱动部的长度方向以直线状延伸，并在上述反射镜部ー侧的另一侧面从上述驱动部在长度方向上的中央向两端部向上述一侧面ー侧倾斜；检测用电极沿着驱动部的长度方向以直线状延伸。若这样构成，则能够以在检测用电极在长度方向上的长度不过于小的状态使驱动部的另ー侧面向一侧面ー侧倾斜，来使驱动部在宽度方向上的宽度从中央向两端部慢慢地縮小。由此，能够以使检测用电极保持能够检测驱动部的变形量的长度(尺寸)的状态减少驱动部的平面面积，来实现驱动部的轻量化。在上述一个方案的振动反射镜器件中，优选地:检测用电极沿着驱动用电极的长度方向延伸；驱动用电极和检测用电极均以通过长度方向上的中央并沿着向宽度方向延伸的直线为边界大致对称。若这样构成，则能够通过相对于直线大致对称而形成的驱动用电极来使驱动部相对于该直线大致对称地变形。并且，通过相对于直线大致对称的检测用电极能够更加准确地检测驱动部的变形量。在上述一个方案的振动反射镜器件中，优选地:驱动部包括:固定端，位于驱动部在长度方向上的大致中央，ー对自由端，位于驱动部在长度方向上的两端部；ー对自由端相对于固定端向与驱动部的表面垂直的方向位移，来使驱动部挠曲变形为凹形状及凸形状；检测用电极基于驱动部挠曲变形为凹形状及凸形状，来检测驱动部的变形量。若这样构成，则能够通过检测用电极容易地检测基于挠曲变形成凹形状及凸形状的驱动部的变形量。在上述一个方案的振动反射镜器件中，优选地，驱动用电极和检测用电极配置在同一面上。若这样构成，则能够更加容易地用相同的制造エ序同时形成驱动用电极和检测用电极，并且能够更加容易地制造振动反射镜器件。在这种情况下，优选地，通过对相同的金属层印刻图形来形成驱动用电极和检测用电极。若这样构成，则能够在短时间内利用一个エ序形成驱动用电极和检测用电极。在上述驱动用电极和检测用电极配置在同一面上的振动反射镜器件中，优选地，驱动用电极配置成以与检测用电极的外周部相隔开的状态包围检测用电极的周围。若这样构成，则能够一边沿着检测用电极的外周部实现驱动用电极和检测用电极之间的物理性绝缘，ー边向周围被驱动用电极包围的检测用电极准确地传递驱动用电极的变形。在上述驱动用电极和检测用电极配置在同一面上的振动反射镜器件中，优选地:驱动部包括共用压电体和配置在共用压电体的一面上的共用电极；驱动用电极配置在共用压电体的另一面上的第一区域，检测用电极配置在共用压电体的另一面上的与第一区域不同的第二区域；在驱动部中，通过向共用电极与驱动用电极之间施加电压，来使共用压电体变形；检测用电极用于检测随着共用压电体变形而产生的检测用电极与共用电极之间的电位差。若这样构成，则能够在驱动用电极和检测用电极共用压电体和共用电极，从而不需要分别在驱动用电极及检测用电极设置压电体及电极。由此，能够简化振动反射镜器件的结构，从而能够实现振动反射镜器件的小型化。并且，由于不需要设置分别与驱动用电极及检测用电极相对应的压电体及电极的制造エ序，因此能够更加容易地形成振动反射镜器件。在上述一个方案的振动反射镜器件中，优选地:驱动部包括:驱动用压电体，通过驱动用电极被施加电压而变形，检测用压电体，随着驱动用压电体的变形而变形；检测用电极用于检测随着检测用压电体变形而产生的电压。若这样构成，则与驱动用电极和检测用电极共用一个压电体的情况不同，可以对与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.09.07 JP 2010-1996811. 一种振动反射镜器件(100、300、400 )，其特征在于， 具有反射镜部(I)和用于驱动上述反射镜部的驱动部(4、5、304、305、404、405)； 上述驱动部配置有: 驱动用电极(44、54、344、354 )，用于通过被施加电压来使上述驱动部变形并驱动， 检测用电极(45、55、374、384、474、484 )，用于检测上述驱动部的变形量。2.根据权利要求1所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述检测用电极沿着上述驱动用电极的长度方向延伸。3.根据权利要求2所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述检测用电极在长度方向上的长度为上述驱动用电极在长度方向上的长度的一半以上。4.根据权利要求2所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述检测用电极在长度方向上的长度比上述驱动用电极在长度方向上的长度小。5.根据权利要求1所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述驱动用电极和上述检测用电极被配置为相互绝缘的状态。6.根据权利要求1所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述检测用电极随着上述驱动部的变形而变形。7.根据权利要求1所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述检测用电极配置在上述驱动部的与上述反射镜部 相反ー侧的ー侧面(4a、5a)附近。8.根据权利要求7所述的振动反射镜器件，其特征在干， 上述驱动部，在上述一侧面沿着上述驱动部的长度方向以直线状延伸，并在上述反射镜部ー侧的另ー侧面(4b、5b)从上述驱动部在长度方向上的中央(4c、5c)向两端部(4d、4e、5d、5e)向上述一侧面ー侧倾斜； 上述检测用电极沿着上述驱动部的长度方向以直线状延伸。9.根据权利要求1所述的振动反射镜器件(300、400)，其特征在干， 上述检测用电极(374、384、474、484)沿着上述驱动用电极(344、354)的长度方向延伸； 上述驱动用电极及上述检测用电极均以直线(B1、B2)为边界大致对称，其中，所述将直线(B1、B2)通过上述长度方向上的中央并沿着宽度方向延伸。10.根据权利要求1所述的振动反射镜器件，其特征在干， 上述驱动部包括: 固定端(4c、5c)，位于上述驱动部在长度方向上的大致中央， 一对自由端(4d、4e、5d、5e,),位于上述驱动部的长度方向上的两端部； 上述ー对自由端相对于上述固定端向与上述驱动部的表面垂直的方向发生位移，来使上述驱动部挠曲变形为凹形状及凸形状； 上述检测用电极基于上述驱动部挠曲变形为凹形状及凸形状，来检测上述驱动部的变形量。11.根据权利要求1所述的振动反射镜器件(100)，其特征在于，上述驱动用电极(44、54)和上述检测用电极(45、55)配置在同一面上。12.根据权利要求11所述的振动反射镜器件，其特征在于，通过对相同的金属层印刻图形来形成上...

【专利技术属性】
技术研发人员：神野伊策，井上尚树，村山学，
申请(专利权)人：船井电机株式会社，
类型：
国别省市：