振动反射镜器件制造技术

本发明专利技术提供一种能够容易地制造的具有用于检测驱动的检测用电极的振动反射镜器件。该振动反射镜器件（100）具有反射镜部（1）和用于驱动反射镜部的驱动部（4、5）；上述驱动部配置有用于通过被施加电压来使驱动部变形并驱动的驱动用电极（44、54）和用于检测驱动部的变形量的检测用电极（45、55）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及振动反射镜器件，特别涉及具有用于检测变形量的检测用电极的振动反射镜器件。
技术介绍
以往，已知具有用于检测变形量的检测用电极的振动反射镜器件。例如，在日本特开2009 — 229517号公报中公开了这样的振动反射镜器件。在上述日本特开2009 — 229517号公报中公开了ー种促动器(actuator)(振动反射镜器件)，该促动器包括:可摆动的反射镜；驱动电极，其借助静电カ以非接触状态使反射镜摆动；扭杆(torsion bar)，其与反射镜的端部相连接，井随着驱动电扱使反射镜摆动而扭曲变形；角度检测传感器。在该日本特开2009 — 229517号公报中所述的促动器中，利用角度检测传感器检测扭杆的由扭曲变形产生的变形量，并根据上述变形量获得反射镜的偏转角。角度检测传感器包括:压敏电阻，其以一体方式形成在扭杆的表面；一对电压测量片(检测用电极)，用于检测压敏电阻所产生的电压；一对偏置电流片，用于向压敏电阻供给偏置电流。此外，驱动电极以俯视时与反射镜的一部分重叠的状态形成在反射镜的下方。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2009 — 229517号公报
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.09.07 JP 2010-1996811. 一种振动反射镜器件(100、300、400 )，其特征在于， 具有反射镜部(I)和用于驱动上述反射镜部的驱动部(4、5、304、305、404、405)； 上述驱动部配置有: 驱动用电极(44、54、344、354 )，用于通过被施加电压来使上述驱动部变形并驱动， 检测用电极(45、55、374、384、474、484 )，用于检测上述驱动部的变形量。2.根据权利要求1所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述检测用电极沿着上述驱动用电极的长度方向延伸。3.根据权利要求2所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述检测用电极在长度方向上的长度为上述驱动用电极在长度方向上的长度的一半以上。4.根据权利要求2所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述检测用电极在长度方向上的长度比上述驱动用电极在长度方向上的长度小。5.根据权利要求1所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述驱动用电极和上述检测用电极被配置为相互绝缘的状态。6.根据权利要求1所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述检测用电极随着上述驱动部的变形而变形。7.根据权利要求1所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述检测用电极配置在上述驱动部的与上述反射镜部 相反ー侧的ー侧面(4a、5a)附近。8.根据权利要求7所述的振动反射镜器件，其特征在干， 上述驱动部，在上述一侧面沿着上述驱动部的长度方向以直线状延伸，并在上述反射镜部ー侧的另ー侧面(4b、5b)从上述驱动部在长度方向上的中央(4c、5c)向两端部(4d、4e、5d、5e)向上述一侧面ー侧倾斜； 上述检测用电极沿着上述驱动部的长度方向以直线状延伸。9.根据权利要求1所述的振动反射镜器件(300、400)，其特征在干， 上述检测用电极(374、384、474、484)沿着上述驱动用电极(344、354)的长度方向延伸； 上述驱动用电极及上述检测用电极均以直线(B1、B2)为边界大致对称，其中，所述将直线(B1、B2)通过上述长度方向上的中央并沿着宽度方向延伸。10.根据权利要求1所述的振动反射镜器件，其特征在干， 上述驱动部包括: 固定端(4c、5c)，位于上述驱动部在长度方向上的大致中央， 一对自由端(4d、4e、5d、5e,),位于上述驱动部的长度方向上的两端部； 上述ー对自由端相对于上述固定端向与上述驱动部的表面垂直的方向发生位移，来使上述驱动部挠曲变形为凹形状及凸形状； 上述检测用电极基于上述驱动部挠曲变形为凹形状及凸形状，来检测上述驱动部的变形量。11.根据权利要求1所述的振动反射镜器件(100)，其特征在于，上述驱动用电极(44、54)和上述检测用电极(45、55)配置在同一面上。12.根据权利要求11所述的振动反射镜器件，其特征在于，通过对相同的金属层印刻图形来形成上...

【专利技术属性】
技术研发人员：神野伊策，井上尚树，村山学，
申请(专利权)人：船井电机株式会社，
类型：
国别省市：