反射镜固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种反射镜固定装置，包括反射镜支座(109)、固定板(101)、连接螺钉(110)、透镜预紧装置(100)，所述透镜预紧装置(100)包括球形联接座(108)，与所述球形联接座(108)球铰连接有球头轴(102)，所述球头轴(102)套接有压缩弹簧(104)，所述球头轴(102)的外圆周滑动连接有螺柱(105)，所述螺柱(105)与所述固定板(101)螺纹连接，所述球头轴(102)的止推端通过卡环(103)与所述螺柱(105)固定连接；所述球形联接座(108)的底面连接有缓冲垫(107)。本实用新型专利技术提供的反射镜固定装置，能够提高反射镜固定安装的精度和稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光刻机
，特别涉及一种光刻机中的反射镜固定装置。
技术介绍
在精密光学仪器制造领域，光路设计过程中，经常使用平面反射镜来改变光线的偏转角度，达到改变光路方向，布局成像光学器件、压缩空间或分割光束等目的，在光学机械设计过程中，因反射镜在光路的角度误差，会引入光轴两倍的成像误差，所以精密仪器对于光学平面反射镜的安装定位以及面型精度有较高的要求，特别在光刻机对准和调焦光电检测系统中，往往要求结构紧凑空间实现高精度高可靠性的固定安装。通常对于反射镜的固定安装采用以下几种方式：一、采用点胶的固定方式，其中点胶的方式适合一般定位精度、无振动影响的环境中，以及温度变化对于胶水膨胀无影响的前提下，随着光刻机中极紫外光源的运用，该光源对胶水的分解老化，使得点胶的方案在光刻机的运用存在较大的风险。二、压圈固定方式，如图1所示，由镜座11、反射镜12和压圈13组成，该方式和透镜的固定方式相同，但因透镜的厚径比(厚度与直径的比值)优于平面反射镜，固定后引入的应力较小，而较薄的反射镜容易变形，该方案通常适合较厚的反射镜固定，同时压圈在拧紧过程中，因接触摩擦力，容易引起反射镜旋转运动，接触面不充分，造成反射镜过定位等不稳定，如图2所示。三、采用弹簧片或者柱塞压紧固定方式，该方式比较符合柔性固定反射镜 的目的，但因弹簧片预紧力不易控制，接触点应力集中等问题，对于集成装配人员操作水平要求较高。综上所述，反射镜固定过程中，因反射镜支撑座定位平面的加工精度或螺纹加工精度影响，现有方案无法保证压圈拧紧后端面与镜面完全贴合，造成反射镜受力变形或固定不稳定状态，该安装误差影响成像系统性能。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，提供一种反射镜固定装置，以提高反射镜固定安装的精度和稳定性。为了解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种反射镜固定装置，包括反射镜支座、固定板、连接螺钉、透镜预紧装置，所述透镜预紧装置包括球形联接座，与所述球形联接座球铰连接有球头轴，所述球头轴套接有压缩弹簧，所述球头轴的外圆周滑动连接有螺柱，所述螺柱与所述固定板螺纹连接，所述球头轴的止推端通过卡环与所述螺柱固定连接；所述球形联接座的底面连接有缓冲垫。进一步的，本技术提供的反射镜固定装置，所述固定板上设置有多个透镜预紧装置，所述多个透镜预紧装置呈圆环或矩阵分布设置。进一步的，本技术提供的反射镜固定装置，所述球形联接座为一个大于半球体的球冠体。进一步的，本技术提供的反射镜固定装置，所述球头轴包括第一轴和第二轴，所述第二轴的直径大于所述第一轴的直径，所述第二轴靠近球头轴的球头端设置，所述螺柱中空设置有第一孔和第二孔，所述第二孔的直径大于所述第一孔的直径，所述第一轴插入所述第一孔内，所述第二轴与所述第二孔相配合滑动连接；所述压缩弹簧的下端在抵在所述第一轴和第二轴形成的台阶面，所述压缩弹簧的上端抵在所述第一孔和第二孔形成的台阶面。进一步的，本技术提供的反射镜固定装置，所述卡环由半圆环和三个 支点组成。进一步的，本技术提供的反射镜固定装置，所述球头轴的止推端设置有环凹槽，所述卡环卡接在所述环凹槽内与所述螺柱固定连接。进一步的，本技术提供的反射镜固定装置，所述螺柱设置有法兰盘。进一步的，本技术提供的反射镜固定装置，所述法兰盘上设置有两个圆柱孔。进一步的，本技术提供的反射镜固定装置，所述缓冲垫为橡胶垫或尼龙垫。进一步的，本技术提供的反射镜固定装置，所述压缩弹簧的压缩长度为1mm-3mm。本技术使用时，通过旋转螺柱使球头轴通过球形联接座及缓冲垫对反射镜施加预紧力；由于球形联接座与球头轴的球铰连接结构，则在螺柱施加预紧力旋转时，球头轴带动压缩弹簧向下压缩，当施加的预紧力产生方向偏移时，球头轴在球形联接座内产生偏移，而球形联接座及其下方的缓冲垫则使终保持与反射镜的接触面的位置关系不变，从而保证了反射镜不受施加的预紧力的作用而产生位置偏移，因此提高了反射镜的安装精度和稳定性。与现有技术相比，避免了预紧力对反射镜造成的过定位，克服了反射镜受力变形或固定不稳定状态，以及克服安装误差影响成像系统性能，具有提高反射镜固定安装的精度和稳定性的技术效果。附图说明图1-2是现有技术中反射镜固定装置的结构示意图；图3是本技术反射镜固定装置的立体图；图4是本技术反射镜固定装置的剖视图；图5是本技术的反射镜安装结构示意图；图6是本技术的预紧装置的立体结构示意图；图7是本技术的卡环的结构示意图；图8是本技术的环形联接座的结构示意图。现有技术图示：11、镜座，12、反射镜，13、压圈。本技术图示：100、透镜预紧装置，101、固定板，102、球头轴，103、卡环，104、压缩弹簧，105、螺柱，106、反射镜，107、缓冲垫，108、球形联接座，109、反射镜支座，110、连接螺钉。具体实施方式下面结合附图对本技术作详细描述：请参考图3至8，本技术提供一种反射镜固定装置，包括反射镜支座109、固定板101、连接螺钉110、透镜预紧装置100，所述透镜预紧装置100包括球形联接座108，与所述球形联接座108球铰连接有球头轴102，所述球头轴102套接有压缩弹簧104，所述球头轴102的外圆周滑动连接有螺柱105，所述螺柱105与所述固定板101螺纹连接，所述球头轴102的止推端通过卡环103与所述螺柱105固定连接；所述球形联接座108的底面连接有缓冲垫107。本技术使用时，将反射镜106设置于反射镜支座109内，通过连接螺钉110将固定板101与反射镜支座109固定连接；通过螺纹连接将透镜预紧装置100固定连接在固定板101上。通过透镜预紧装置100的预紧力调节反射镜106的安装精度和稳定性连接。即通过旋转螺柱105使球头轴102通过球形联接座108及缓冲垫107对反射镜106施加预紧力；由于球形联接座108与球头轴102的球铰连接结构，则在螺柱105施加预紧力旋转时，球头轴102带动压缩弹簧104向下压缩，当施加的预紧力产生方向偏移时，球头轴102在球形联接座108内产生偏移，而球形联接座108及其下方的缓冲垫107则使终保持与反射镜106的接触面的位置关系不变，从而保证了反射镜106不受施加的预紧力的作用而产生位置偏移，因此提高了反射镜106的安装精度和稳定性。与现有技术相比，避免了预紧力对反射镜造成的过定位，克服了反射镜受力变形或固定不稳 定状态，以及克服安装误差影响成像系统性能，具有提高反射镜固定安装的精度和稳定性的技术效果。请参考图3、图5，本技术提供的反射镜固定装置，所述固定板101上设置有多个透镜预紧装置100，所述多个透镜预紧装置100呈圆环或矩阵分布设置。例如采用三个透镜预紧装置100，呈圆环分布设置；也可以采用四个透镜预紧装置100，呈四点矩阵分布设置，以实现多点预紧。为了减少支撑面加工误差，该方案中通过在反射镜106上加工多个支撑点，减小加工面积，提高加工精度。支撑点的布局一般为多点，避免镜片悬臂或自重变形。具体布局位置根据反射镜的支撑点决定。本实施例中，反射镜106的固定采用弹性预紧，同时和镜片接触处采用局部平面接触，增大接触面，避免点接触产生局部应力。施加本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种反射镜固定装置，包括反射镜支座(109)、固定板(101)、连接螺钉(110)、透镜预紧装置(100)，其特征在于，所述透镜预紧装置(100)包括球形联接座(108)，与所述球形联接座(108)球铰连接有球头轴(102)，所述球头轴(102)套接有压缩弹簧(104)，所述球头轴(102)的外圆周滑动连接有螺柱(105)，所述螺柱(105)与所述固定板(101)螺纹连接，所述球头轴(102)的止推端通过卡环(103)与所述螺柱(105)固定连接；所述球形联接座(108)的底面连接有缓冲垫(107)。

【技术特征摘要】
1.一种反射镜固定装置，包括反射镜支座(109)、固定板(101)、连接螺钉(110)、透镜预紧装置(100)，其特征在于，所述透镜预紧装置(100)包括球形联接座(108)，与所述球形联接座(108)球铰连接有球头轴(102)，所述球头轴(102)套接有压缩弹簧(104)，所述球头轴(102)的外圆周滑动连接有螺柱(105)，所述螺柱(105)与所述固定板(101)螺纹连接，所述球头轴(102)的止推端通过卡环(103)与所述螺柱(105)固定连接；所述球形联接座(108)的底面连接有缓冲垫(107)。2.如权利要求1所述的反射镜固定装置，其特征在于，所述固定板(101)上设置有多个透镜预紧装置(100)，所述多个透镜预紧装置(100)呈圆环或矩阵分布设置。3.如权利要求1所述的反射镜固定装置，其特征在于，所述球形联接座(108)为一个大于半球体的球冠体。4.如权利要求1所述的反射镜固定装置，其特征在于，所述球头轴(102)包括第一轴和第二轴，所述第二轴的直径大于所述第一轴的直径，所述第二轴靠近...

【专利技术属性】
技术研发人员：程海林，袁伟杰，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31