垂直度误差可调的垂向闭式静压导轨制造技术

垂直度误差可调的垂向闭式静压导轨，涉及机床的闭式静压导轨。提供一种解决精密机床垂向闭式液体静压导轨由于单侧承受颠覆力矩而刚性不足引起的垂直度误差过大问题的垂直度误差可调的垂向闭式静压导轨。设有垂向闭式静压导轨、垂直度误差检测控制单元和液压系统；垂向闭式静压导轨设有立柱、立柱导轨和滑块导轨；垂直度误差检测控制单元设有激光干涉仪、反射镜、上位移传感器、上支架、上反射块、下位移传感器、下支架、下反射块和数据处理与控制模块；液压系统设有前上伺服电机、前下伺服电机、后上伺服电机、后下伺服电机、前上油泵、前下油泵、后上油泵、后下油泵、前上进油管、前下进油管、后上进油管、后下进油管和液压油箱。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及机床的闭式静压导轨，尤其是涉及一种主要用于精密机床，垂直度误差可调的垂向闭式静压导轨。
技术介绍
液体静压支撑技术因刚性好、耐冲击、耐磨损和精度保持性好等优点被广泛应用于精密机床中。目前，液体静压支撑技术较普遍的应用于精密机床水平方向的导轨装置中， 其中尤以闭式静压导轨居多。由于机床水平方向的载荷较为平稳，不承受颠覆力矩，或承受的颠覆力矩较小等原因，静压导轨的刚性好，能保证机床在水平方向获得良好的几何精度， 因此，水平方向的闭式静压导轨通常两侧供给相同压力的流体，并通过节流装置调节两侧的流量以控制液膜对导轨的支撑力，最终达到支撑平衡。此外，水平方向的静压导轨由于一般承受单方向的作用力，沿长度方向的载荷平稳，闭式静压导轨的油腔布置也因此常做成均勻分布。但在垂向导轨结构中，由于载荷作用方向影响，开式静压导轨的应用受到限制， 而在精密机床中只能使用闭式静压导轨。由于在精密机床中，垂向导轨一般只承受单侧的载荷作用(如卧轴矩台平面磨床)，从而在导轨上形成颠覆力矩，该力矩极易引起导轨发生偏离垂向的倾斜，而影响精密机床的几何精度和加工精度，特别是在进行微量材料去除的精密加工中，这种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：彭云峰，郭隐彪，王振忠，姜涛，林建华，林晓辉，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：发明
国别省市：