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本发明涉及一种两自由度高速并联扫描平台及垂直度误差校准方法，包括机壳和安装于机壳内的直线驱动机构、反射镜轴机构、反射镜活动框架和PSD位置传感器。本发明实施例提供的一种两自由度高速并联扫描平台采用单反射镜结构，只需一次反射即可完成扫描工作，...
该专利属于广州中国科学院先进技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过广州中国科学院先进技术研究所授权不得商用。

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