硼扩散炉管尾气处理方法及处理设备技术

本发明专利技术公开了一种硼扩散炉管尾气处理方法及处理设备。硼扩散炉管尾气处理方法包括将炉管（10）中的硼尾气排入尾气管（20）；向尾气管（20）中通入携水气体，使得尾气管（20）中的硼尾气溶解于携水气体中并与携水气体一起排出所述尾气管（20）。根据本发明专利技术的硼扩散炉管尾气处理方法及处理设备，可以提高硼扩散炉管尾气的处理速度，减少单位时间内对硼扩散炉管尾气处理部分的维护清洗次数，降低企业生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硼扩散炉管尾气处理领域，具体而言，涉及一种硼扩散炉管尾气处理方法及处理设备。
技术介绍
晶硅太阳能电池已经被大规模应用到各个领域，其良好的稳定性和成熟的工艺流程是其大规模应用的基础。如何进一步提高效率，降低成本是国内外
研究的基本目标。随着工艺技术的发展，N型晶硅电池以其成本低效率高，越来越受到市场的重视，其中硼扩散工序(N型硅片在扩散后表面形成P/N结)是生产过程中重要的环节，所以保证硼扩散的工艺的稳定和降低本工序的生产成本是人们研究的重点。硼扩散尾气的主要成分是硼的氧化物和硼硅玻璃，这些物质呈白色粉末状，随着扩散过程的进行，大量的白色粉末就会堵塞尾气管，使尾气无法排出，工艺终止。现行的主要方法是监控炉管的气压补偿，随着尾气管的堵塞气压补偿会越来越小，当气压补偿低到一定值后工艺停止，人工拆下尾气部分放入水槽，用热水进行冲洗，这样也完成了尾气部分的清洗，保证了工艺的稳定运行，但是这种处理方法不仅需要终止工艺过程，而且会增加炉管尾气处理部分的维护清洗频率，从而增加了单位时间内的维护清洗次数，维护清洗次数的增加亦使设备的利用率降低，硼尾气处理的速度大大降低，增加了企本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硼扩散炉管尾气处理方法，其特征在于，包括：将炉管（10）中的硼尾气排入尾气管（20）；向所述尾气管（20）中通入携水气体，使得所述尾气管（20）中的所述硼尾气溶解于所述携水气体中并与所述携水气体一起排出所述尾气管（20）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王英超，熊景峰，胡志岩，李高非，赵文超，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：发明
国别省市：