【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种未包含对环境的负载较大的物质且适合用于薄膜电容器的介电薄膜形成用组合物、介电薄膜的形成方法及通过该方法形成的介电薄膜。
技术介绍
以往，作为介电薄膜形成用组合物，一直使用例如钛酸钡系组合物或铅系复合钙钛矿系材料等铁电材料。另一方面，近年来，在全球范围内的环保运动不断高涨的情况下，期待开发未包含对环境的负载较大的Ba或Pb的新颖的介电薄膜形成用组合物。另外，当制造包含Ba、Pb等的介电薄膜形成用组合物时，出于对环保的考虑，需要对在制造工序中产生的废液进行处理的处理设备等特殊设备，因此在制造成本方面也要求开发未包含这些物质的介电薄膜形成用组合物。作为上述未包含对环境的负载较大的物质的新颖的介电薄膜形成用组合物，发表了如下研究内容，即利用使用了 Ca源、Cu源及Ti源的溶胶-凝胶液，从该溶胶-凝胶液制作CaCu3Ti4O12 (以下称为CCT0)膜，并对所得到的CCTO膜的特性进行调查的研究(例如参考非专利文献I)。该非专利文献I中，将各元素源溶解于有机溶剂中来制备溶胶-凝胶液，通过利用该溶胶-凝胶液的旋涂法制作CCTO膜，作为在溶胶-凝胶液的制备中...
【技术保护点】
一种介电薄膜形成用组合物，其特征在于，为用于形成呈通式：Ca(4?3x)Cu3xTi4O12所示的复合金属氧化物形态的薄膜的液状介电薄膜形成用组合物，式中，0.5≤x≤1.1，由用于构成所述复合金属氧化物的原料以提供上述通式所示的金属原子比的比例溶解于有机溶剂中的有机金属化合物溶液构成，所述有机溶剂以具有通式：CnH2n+1COOH所示的直链或者1条或2条以上侧链的羧酸为主成分，其中，n为2～6的整数。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：藤井顺，樱井英章，曽山信幸，
申请(专利权)人：三菱综合材料株式会社，
类型：发明
国别省市：
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