【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种高响应灵敏度悬臂梁结构，包括非金属层(1)和金属层(2)，所述金属层位于所述非金属层上侧面上，其特征在于：所述金属层和非金属层形成的悬臂梁呈规律的褶皱状。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘瑞文，焦斌斌，李志刚，孔延梅，卢狄克，陈大鹏，
申请(专利权)人：昆山光微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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