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本发明公开了高响应灵敏度悬臂梁结构及其制作方法，该高响应灵敏度悬臂梁结构，包括非金属层和金属层，所述金属层位于所述非金属层上侧面上，所述金属层和非金属层形成的悬臂梁呈规律的褶皱状。该悬臂梁结构制作简单，通过不同的各项异性刻蚀条件可制作出不同...
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