颗粒状蒸镀材及蒸镀膜的成膜方法以及蒸镀膜技术

本发明专利技术提供一种用于通过真空蒸镀法以高成膜率且低喷溅成膜氧化物薄膜的颗粒状蒸镀材及蒸镀膜的成膜方法以及利用该蒸镀材成膜的蒸镀膜。本发明专利技术的颗粒状蒸镀材，其特征在于，该颗粒状蒸镀材由对纯度为98%以上且小于100%的WO3-x原料粉末（其中，0≤x≤1。）进行造粒处理而形成的平均粒径为1～10mm的颗粒体构成。并且，本发明专利技术的蒸镀膜的成膜方法，其特征在于，该成膜方法利用上述颗粒状蒸镀材，通过电阻加热法、电子束蒸镀法或反应性等离子体蒸镀法来进行成膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于通过真空蒸镀法以高成膜率且低喷溅成膜蒸镀膜的颗粒状蒸镀材及蒸镀膜的成膜方法以及利用该蒸镀材成膜的蒸镀膜。尤其，本专利技术涉及一种在例如液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池等电子设备或者食品、药品等的包装材料等中用于形成具备较高的水蒸气阻挡性的蒸镀膜的颗粒状蒸镀材及蒸镀膜的成膜方法以及利用该蒸镀材成膜的蒸镀膜。
技术介绍
液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池等设备通常经不起湿气，其特性因吸湿而迅速地劣化，因此必须配备具有高防湿性、即防止氧气或水蒸气等透过或进入的气体阻挡性的组件。例如，在太阳能电池的例子中，在与太阳能电池模块的受光面相反一侧的背面设置有背板。该背板的代表性例子为，由利用蒸镀材等成膜在基材上的具有高防湿性的水蒸气阻挡膜和保护它们的部件等构成的背板。并且，除上述太阳能电池等设备以外，在食品和药品等的包装材料等中也要求较高的水蒸气阻挡性，一般广为人知的是具备水蒸气阻挡膜的包装材料等，该水蒸气阻挡膜通过在塑料的表面蒸镀氧化硅、氧化镁、氧化铝或铝金属箔等来成膜。通常通过电子束蒸镀法(Electron Beam Evaporation Method,以下称为EB法)等真空蒸镀法来形成这种具有水蒸气阻挡性的膜。关于蒸镀材的形状，正在研究开发各种形状。 例如，专利文献I 3中分别公开有如下成膜材料，即一种通过投料器向成膜装置进行供给的成膜材料，由其形状为主表面是椭圆形状且具有厚度的椭圆柱形状或直径与厚度之比为0.5以上的圆柱形状或六面体形状的成膜材料和其他形状的成膜材料混合而构成，并且是多晶体MgO的烧结体粒料。在上述专利文献I 3所示的成膜材料中，为了防止在通过材料供给路(投料器)向成膜装置进行供给时投料器堵塞而着眼于粒料的形状，并没有言及到粒料的大小。并且，分别公开有如下蒸镀材:为了在通过EB法进行蒸镀时也不发生喷溅并高速且均匀地进行成膜而粒料被形成为球状，且晶体粒径为I 500 μ m的多晶体MgO蒸镀材(例如，参考专利文献4);及由金属氧化物的多孔质烧结体构成且该烧结体具有0.2以上且小于3.0%的气孔率的蒸镀材(例如，参考专利文献5)。上述专利文献4所示的多晶体MgO蒸镀材通过如下制造；即通过将平均粒径为0.1 3 μ m的MgO粉末放入转动造粒机的旋转皿后，进行包含粘合剂的有机溶剂的喷雾来对MgO粉末进行造粒而成型球状的成型体，并通过反复进行进一步将MgO粉末放入旋转皿且进行包含粘合剂的有机溶剂的喷雾的作业来使球状的成型体生长为预定的大小，或者，通过将平均粒径为0.1 3 μ m的MgO粉末与粘合剂混匀并解碎，并将解碎的包含粘合剂的MgO粉末放入转动造粒机的旋转皿后进行有机溶剂的喷雾来对MgO粉末进行造粒而成型球状的成型体，并通过反复进行进一步将包含粘合剂的MgO粉末放入旋转皿且进行有机溶剂的喷雾的作业来使球状的成型体生长为预定的大小，以预定的温度烧结生长的成型体。并且，上述专利文献5所示的蒸镀材通过如下制造，即通过在减压下混合平均粒径为0.1 10 μ m的金属氧化物粉末和粘合剂及有机溶剂来制备金属氧化物粉末的浓度为45 75质量％的浆料，并在减压下对该浆料进行喷雾干燥来作为平均粒径为50 300 μ m的多孔质造粒粉末，且在减压下成型多孔质造粒粉末而作为多孔质成型体，并在预定温度下烧结多孔质成型体来作为金属氧化物的多孔质烧结体。专利文献1:日本专利公开2010-037608号公报(权利要求1、2、图4)专利文献2:日本专利公开2010-037609号公报(权利要求1、2、图4)专利文献3:日本专利公开2010-037610号公报(权利要求1、2、图4)专利文献4:日本专利公开平11-29355号公报(权利要求1、2、4、5、段、附图说明图1、图 2)专利文献5:日本专利公开2008-255480号公报(权利要求1、3、段)但是，关于上述以往的专利文献I 3所示的成膜材料，成型时需要进行冲压加工，因此耗费时间和成本，并且在成型时的冲压加工期间有从所使用的模具或夹具混入杂质的可能性。并且，在上述以往的专利文献4所示的球状成型体中，使球状成型体生长至所希望的大小时必须同时投入原料粉末和粘合剂这两者，由于存在2个参数，因此调整变得困难。另外，在上述以往的专利文献5所示的多孔质烧结体中，需要进行在减压下混合成为原料粉末的氧化物粉末、粘合剂及有机溶剂来制备浆料，并且进一步对其进行喷雾干燥的工序，因此制造中会耗费 劳力和时间，其结果生产成本增大了。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够以低成本进行生产，并能够通过真空蒸镀法以高成膜率且低喷溅成膜蒸镀膜的颗粒状蒸镀材及蒸镀膜的成膜方法。本专利技术的其他目的在于提供一种适合形成具有较高水蒸气阻挡性的蒸镀膜的颗粒状蒸镀材及蒸镀膜的成膜方法以及利用该蒸镀材成膜的蒸镀膜。本专利技术的另一目的在于提供一种能够以低能量且高速成膜具有较高水蒸气阻挡性的蒸镀膜的颗粒状蒸镀材及蒸镀膜的成膜方法。本专利技术的第I观点为一种颗粒状蒸镀材，由对纯度为98%以上且小于100%的W03_x原料粉末(其中，O X ^ I。)进行造粒处理来形成的平均粒径为I IOmm的颗粒体构成。本专利技术的第2观点为一种蒸镀膜的成膜方法，利用基于第I观点的颗粒状蒸镀材，通过电阻加热法、EB法或反应性等离子体蒸镀法(Reactive Plasma Deposition Method,以下称为RH)法)进行成膜。本专利技术的第3观点为一种蒸镀膜，利用基于第I观点的颗粒状蒸镀材，通过真空成膜法形成。本专利技术的第I观点为一种颗粒状蒸镀材，由对纯度为98%以上且小于100%的W03_x原料粉末(其中，O X ^ I。)进行造粒处理来形成的平均粒径为I IOmm的颗粒体构成。由此，能够形成具备较高水蒸气阻挡性的蒸镀膜。并且，作为蒸镀材的原料粉末的wo3_xS高蒸气压材料，因此能够以低能量且高速成膜上述优质的蒸镀膜。本专利技术的第2观点为一种蒸镀膜的成膜方法，利用本专利技术的颗粒状蒸镀材，通过电阻加热法、EB法或反应性等离子体蒸镀法进行成膜。本专利技术的成膜方法中利用上述本专利技术的颗粒状蒸镀材进行蒸镀膜的成膜，因此能够以低能量且高速成膜具有较高水蒸气阻挡性的蒸镀膜。因此，不限定成膜方法，通过上述的任意方法都能够成膜优质的蒸镀膜。本专利技术的第3观点为一种蒸镀膜，利用本专利技术的颗粒状蒸镀材，通过真空成膜法形成。本专利技术的蒸镀膜为利用上述本专利技术的颗粒状蒸镀材来成膜的具有较高水蒸气阻挡性的优质的蒸镀膜，因此还能够适合用于例如食品包装材料或太阳能电池背板等中。具体实施例方式接着，对用于实施本专利技术的方式进行说明。本专利技术的颗粒状蒸镀材为由通过对纯度为98%以上且小于100%的W03_x原料粉末(其中，O < X < I。)进行造粒处理来形成的平均粒径为I IOmm的颗粒体构成的颗粒状蒸镀材。将蒸镀材的形状设为上述平均粒径的范围内的颗粒状，由此能够通过真空成膜法以高成膜率且低喷溅成膜蒸镀膜。另外，若颗粒状蒸镀材的平均粒径小于1mm，则在利用该颗粒状蒸镀材形成蒸镀膜时产生发生喷溅的不良情况。并且，若平均粒径超过10mm，则难以制作均匀直径的颗粒，并且产生成膜率并没有提高的不良情况。其中，尤其优选平均粒径为2 5mm的范围内的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种颗粒状蒸镀材，其中，该颗粒状蒸镀材由对纯度为98%以上且小于100%的WO3?x原料粉末进行造粒处理而形成的平均粒径为1～10mm的颗粒体构成，其中，0≤x≤1。

【技术特征摘要】
2011.12.19 JP 2011-2766121.一种颗粒状蒸镀材，其中， 该颗粒状蒸镀材由对纯度为98%以上且小于100%的W03_x原料粉末进行造粒处理而形成的平均粒径为I IOmm的颗粒体构成...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田勇气，樱井英章，
申请(专利权)人：三菱综合材料株式会社，
类型：发明
国别省市：