本发明专利技术涉及磁头研磨装置和磁头研磨方法。该磁头研磨装置包括：具有可转动的研磨表面的研磨表面板；转动所述研磨表面的转动驱动单元；以及可相对于所述研磨表面移动并适于将所述待研磨物体压在所述研磨表面上由此对所述物体进行研磨的研磨头；其中，所述研磨头包括用于将所述待研磨物体支承在其一个表面上的具有弹性的支承部分；用于固定所述支承部分的支承部分固定部件；以及用于经所述支承部分对所述待研磨物体加压的多个加压部件，并且其中，在由所述加压部件加压的所述支承部分的加压区域与所述加压部件接触的状态下，所述支承部分在除所述加压区域以外的区域固定到所述支承部分固定部件上。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于由用于磁记录装置等中的多个相连的磁头滑动件单元构成的研磨物体的磁头研磨装置和研磨方法。
技术介绍
在磁头的制造过程中，在原材料条的待研磨表面(所谓的支承表面)上采用所谓的RLG(电阻研磨引导)研磨，多个磁头元件(被称为MR(磁阻)薄膜)以线性排列的形式形成在所述待研磨表面上。利用假负载电阻在MR薄膜的电阻特性的测量下进行RLG研磨，以在滑动件的喉高或者MR高度方面获得适合的数值。待研磨的原材料条指的是一个在切割过程中通过将形成在陶瓷基片表面上的多个磁头元件切割成预定宽度而得到的条形部件。在RLG研磨中，将刚性部件夹具固定在原材料条的与待研磨表面相对的表面上，并将固定在夹具上的原材料条固定在研磨头下方，所述研磨头位于研磨表面板的上方。在均匀涂覆有研磨材料(膏剂)的表面板上，研磨头下降并且与原材料条的待抛光表面接触。接着，转动表面板并将来自加压部件的压力作用在构成原材料条的每一个滑动件上，从而将原材料条研磨到预定的厚度、表面粗糙度和形状(例如日本专利申请特开No.2002-66893，日本专利申请特开No.2002-157723，日本专利特许No.2935916和日本专利申请特开No.2004-071016)。下面说明现有的加压部件和原材料条的结构。图9A是研磨头的主视图，图9B是其仰视图，图10是图9A中X部分的放大图。用于对原材料条417加压的加压部件417由加压销431和梳齿状部件435构成，梳齿状部件435定位成抵靠加压销431的端部并安装在研磨头415的本体上。在梳齿状部件435的与由加压销431施压的部分相对的表面上，利用粘接剂(粘接层432)沿梳齿状部件的纵向固定橡胶件419。原材料条417支承在橡胶件419的表面上。在上述结构的研磨头415中，当利用从未示出的源供给的压缩空气对预定加压销431加压时，它压迫梳齿状部件432的柔性梳齿状部分435a。这样，梳齿状部件的末端部分435b弯曲以使得橡胶件419变形，从而对原材料条417的预定部分加压以进行研磨。近年来，用于磁头中的滑动件制作得较小，要求在构成原材料条的滑动件中的相应节距也较小。为了实现滑动件的小型化，不仅需要磁头研磨装置的加压部件小型化，而且需要提高研磨加工精度。为了提高研磨精度，需要提高加压操作中的响应性和负荷的线性。特别在研磨装置中，在采用在监测滑动件的电特性下改变加压作用力的闭环控制的情况下，提高加压部件对控制系统的指令的响应性对于提高研磨精度来说是必需的。本专利技术人进行大量的研究，发现存在于加压部件和橡胶件之间的粘接材料对于现有的尺寸较大的滑动件的影响相当有限，但随着滑动件的小型化，其对响应性和负荷线性的影响越来越大。这主要是因为对于加压部件的构成部分的小型化来说表面积的影响比体积的影响大，因此当加压部件压迫橡胶件时粘接材料的影响不再被忽略。
技术实现思路
考虑到上述情况，本专利技术的目的是提供一种能够在不受粘接材料影响的情况下提高加压部件的响应性和线性的。在本专利技术的第一方面，上述目的可通过提供一种磁头研磨装置实现，该磁头研磨装置用于研磨由分别由电磁转换元件和磁电转换元件中的至少一个形成的多个元件构成的待研磨物体，所述磁头研磨装置包括具有可转动的研磨表面的研磨表面板；转动所述研磨表面的转动驱动单元；以及可相对于所述研磨表面移动并适于将所述待研磨物体压在所述研磨表面上由此对所述物体进行研磨的研磨头；其中，所述研磨头包括用于将所述待研磨物体支承在其一个表面上的具有弹性的支承部分；用于固定所述支承部分的支承部分固定部件；以及用于经所述支承部分对所述待研磨物体加压的多个加压部件，并且在由所述加压部件加压的所述支承部分的加压区域与所述加压部件接触的状态下，所述支承部分在除所述加压区域以外的区域固定到所述支承部分固定部件上。在本专利技术的第一方面，上述目的还可通过一种磁头研磨方法实现，该磁头研磨方法用于研磨由分别由电磁转换元件和磁电转换元件中的至少一个形成的多个元件构成的待研磨物体，所述磁头研磨方法包括将所述待研磨物体支承在弹性件的表面上；以及将所述待研磨物体压到形成于研磨表面板上的研磨表面，由此对所述物体进行研磨；其中，研磨步骤是在支承部分固定在除由所述加压部件加压的所述支承部分的加压区域以外的区域中的状态下进行的。本专利技术的研磨装置和研磨方法不受粘接材料的影响，这是由于在加压部件和支承部分之间不存在粘接剂。因此能够提高加压部件的响应性和线性，从而提高研磨精度。附图说明图1A是示出本专利技术所涉及的整个磁头研磨装置的主视图；图1B是其俯视图；图2是示出研磨物体施压机构的示意性主视图；图3是沿图2中的线III-III的截面图；图4是橡胶件的主视图；图5是图3中V部分的放大图；图6是示出施压机构的变型的示意性主视图；图7是辅助支承部分固定部件的主视图； 图8是空气轴承式气缸的示意性截面图；图9A是现有研磨头的主视图；图9B是图9A所示的研磨头的仰视图；以及图10是图9A中X部分的放大图。具体实施例方式下面将参照附图对本专利技术的的实施例进行说明。(实施例)现将参照附图对本专利技术的磁头研磨装置进行说明。图1A是示出本专利技术的一个实施例所涉及的整个磁头研磨装置的主视图，图1B是其平面图。现参照图1A和1B对用于磁头的研磨装置的整体结构进行说明。磁头研磨装置设有基座1。基座1支承可在水平面上转动的研磨表面板3，利用包括转动驱动源并且设置在基座1中的表面板驱动电机5经带7转动驱动研磨表面板3。设置在研磨表面板3上的研磨表面3a具有预定曲率半径的下凹曲面，以利用研磨工艺提供具有预定圆形(冠状)的待研磨表面。如图1A所示，垂直隔开的一对导轨9在基座1上方沿水平方向延伸，并且可横向移动的滑动件11(见图1B)可滑动地安装在导轨9上并且可沿导轨9在水平方向上移动。例如可通过在滑动件11的侧面使得滚珠螺母与平行于导轨9的滚珠螺杆接合并利用电机转动滚珠螺杆来实现可横向移动的滑动件11的移动。研磨头安装框架13也安装在可横向移动的滑动件11上。因此，可横向移动的滑动件11和研磨头安装框架13可在水平方向上实现线性往复动作。施压机构15(下文中说明)经加压机构支承板25(参见图3)也安装在研磨头安装框架13上。如图1A右上部所示，设有控制单元(控制部)6，例如由用于控制整个磁头研磨装置的计算机形成。控制单元6响应于操作员对未示出的开关的致动而发动用于研磨工艺的各种控制。特别地，它可为设置在磁头研磨装置中的电机等发送驱动信号，从而执行研磨操作。下面将对用于将待研磨物体压在研磨表面上的施压机构进行说明。磁头研磨装置的其它结构与在本申请人的日本专利申请特开No.2002-66893和日本专利申请特开No.2002-157723中所说明的类似，因此这里不再对它们进行详细说明。图2是施压机构的示意性主视图。图3是沿图2中的线III-III的横截面图，以及图4是橡胶件的仰视图。在图2中，为了简单起见，省去了图3所示的保持装置21。如图2和图3所示，施压机构15包括构成用于支承作为待研磨物体的原材料条17的弹性支承部分的橡胶件19、构成用于固定橡胶件19的支承部分固定部件的橡胶件保持装置29和用于使得橡胶件保持装置29相对于研磨表面3a上升或者下降的升降装置23。升降本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种磁头研磨装置，它用于研磨由分别由电磁转换元件和磁电转换元件中的至少一个形成的多个元件构成的待研磨物体，所述磁头研磨装置包括：具有可转动的研磨表面的研磨表面板；转动所述研磨表面的转动驱动单元；以及可相对于所述研磨表面移动并适于将所述待研磨物体压在所述研磨表面上由此对所述物体进行研磨的研磨头；其中，所述研磨头包括用于将所述待研磨物体支承在其一个表面上的具有弹性的支承部分；用于固定所述支承部分的支承部分固定部件；以及用于经所述支承部分对所述待研磨物体加压的多个加压部件，并且在由所述加压部件加压的所述支承部分的加压区域与所述加压部件接触的状态下，所述支承部分在除所述加压区域以外的区域固定到所述支承部分固定部件上。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：小野关善宏，水野亨，山口晴彦，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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