层叠电极、带电极的应变电阻膜及压力传感器制造技术

本发明专利技术提供一种应变电阻膜用层叠电极等，其在使用含有Cr和Al的膜作为应变电阻膜的情况下，即使在暴露于高温环境之后，也能够实现相对于配线的良好的粘合力。所述层叠电极设置于应变电阻膜上，其中，所述应变电阻膜含有Cr和Al，所述层叠电极具有重叠于所述应变电阻膜上的接触层、重叠于所述接触层上的防扩散层以及重叠于所述防扩散层上的安装层，所述防扩散层含有属于第五周期及第六周期的过渡元素。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及设置于应变电阻膜上的层叠电极、带电极的应变电阻膜及具有它们的压力传感器等。

技术介绍

1、作为压力传感器等器件中使用的应变电阻膜，提出了含有cr和al的应变电阻膜。据报道，这种应变电阻膜特别是在高温下具有优异的特性。

2、另外，在这种应变电阻膜上设置用于与外部电路进行配线的电极层。这种电极层优选相对于应变电阻膜和配线材料这双方的接合性良好，例如，提出了层叠有多个层的层叠电极(参照专利文献1等)。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2018－91848号公报

技术实现思路

1、专利技术所要解决的问题

2、但是，本专利技术的专利技术人员遇到了如下问题，即，现有的应变电阻膜用电极层即使在常温下的接合性良好，当暴露于高温环境中时，与配线的粘合力也会降低。

3、本专利技术是鉴于这种实际状况而完成的，其目的在于，提供一种应变电阻膜用层叠电极等，其在使用含有cr和al的膜作为应变电阻膜的情况下，即使在暴露于高温环境之本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种层叠电极，其中，

2.根据权利要求1所述的层叠电极，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的层叠电极，其特征在于，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的层叠电极，其特征在于，

5.根据权利要求1～3中任一项所述的层叠电极，其特征在于，

6.根据权利要求1～5中任一项所述的层叠电极，其特征在于，

7.一种带电极的应变电阻膜，其中，

8.一种压力传感器，其中，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种层叠电极，其中，

2.根据权利要求1所述的层叠电极，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的层叠电极，其特征在于，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的层叠电极，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：小林正典，南风盛将光，海野健，笹原哲也，绳冈孝平，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：