温度敏感应变敏感复合传感器制造技术

一种温度敏感应变敏感复合传感器，其中，具有：应变敏感电阻膜，其以通式Cr<subgt;(100‑x‑y)</subgt;Al<subgt;x</subgt;N<subgt;y</subgt;表示，x、y各自的组成区域为5＜x≤50、0.1≤y≤20；和温度敏感电阻膜，其在‑50℃以上450℃以下的温度范围内的电阻温度系数(TCR)的绝对值为2000ppm/℃以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及包含温度敏感电阻膜和应变敏感电阻膜的温度敏感应变敏感复合传感器。

技术介绍

1、如专利文献1所示，已知有同时检测流体等测定对象物的温度和压力的温度敏感应变敏感复合传感器。特别是在专利文献1中报告了通过将由cr－n系合金构成的应变敏感电阻膜和由fe－pd合金构成的温度敏感电阻膜组合，不需要温度补偿用的惠斯通电桥就能够同时检测温度和压力。

2、但是，在专利文献1中使用的cr－n系合金膜的应变系数在200℃以上的高温区域会极端地降低。即，在200℃以上的高温区域，压力测定的精度会降低。因此，专利文献1的温度敏感应变敏感复合传感器的可使用范围限于200℃以下的范围。近年来，要求能够在-50℃的低温区域到450℃的高温区域的范围内同时检测温度和压力，期待温度敏感应变敏感复合传感器的性能的进一步提高。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2001－221696号公报

技术实现思路

1、专利技术所要解决的问题

2、本公开是鉴于这种实际本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种温度敏感应变敏感复合传感器，其中，

2.根据权利要求1所述的温度敏感应变敏感复合传感器，其中，

3.根据权利要求1或2所述的温度敏感应变敏感复合传感器，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的温度敏感应变敏感复合传感器，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的温度敏感应变敏感复合传感器，其中，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种温度敏感应变敏感复合传感器，其中，

2.根据权利要求1所述的温度敏感应变敏感复合传感器，其中，

3.根据权利要求1或2所述的温度敏感应变敏感复合传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：绳冈孝平，海野健，小林正典，笹原哲也，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：